Форвакуумная ловушка Советский патент 1980 года по МПК F04B37/02 B01D15/04 

Изобретение относится к вакуумной технике. Известны форвакуумные ловушки, со держащие корпус с входным и выходным патрубками, расположенный в нем по оси подвижный шток с дисками, один из которых установлен неподвижно, а второй - с возможностью осевого пере мещения, и расположенную между лиска ми сорбционную кассету l. В начальный период работы известной ловушки во время прокачки основной массы газа из вакуумной камеры, сорбционная кассета перекрывается подвижным диском. Таким образом, достигается Гувеличение ресурса работы ловушки. В известной ловушке необходимы дополнительные устройства слеже ния за уровнем давления. Шток ловушк перемещается с помощью внешнего привода, что усложняет конструкцию и эксплуатацию ловушки. Цель изобретения - увеличение ресурса работы ловушки при одновременном упрощении ее обслуживания. Указанная цель достигается тем, что на штоке установлен дополнительный неподвижный диск ...снабженный со стороны входного патруЬка уплотнител ным элементом и соединенный с подвиж ным диском посредством сильфона, а в корпусе между кассетой и подвижным диском установлена кольцевая диафрагма с уплотнителем, вэаимодействукядим с последним, н корпуС снабжен обводным трубопроводом, один конец которого подсоединен к выходному патрубку, а другой - введен внутрь корпуса и взаимодействует с уплотнительным элементом. На чертеже показана ловушка, разрез . Форвакуумная ловушка содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 патрубками, расположенный в нем по оси подвижный шток 4 с дисками 5 и 6, один из которых (диск 5) установлен неподвижно, а второй (диск 6) - с возможностью осевого перемещения, и расположенную между дисками 5 и 6 сорбци- . онную кассету 7, На штоке 4 установлен дополнительный неподвижный диск В, снабженный со стороны входного патрубка 2 уплотнительным элементом 9 и соединенный с подвижным диском б посредством сильфона 10, а в корпусе 1 между кассетой 7 и подвижным диском 6 установлена кольцевая диафрагма 11 с уплотнителем 12. Корпус 1 снабжен обЕоднсйу трубопроводом 13,