Способ измерения диаметра отверстия Советский патент 1980 года по МПК G01B11/12 

1

Изобретение относится к измерительной технике.

Известен способ измерения лиаметра отверстия путем облучения отверстия электромагнитной волной и измерения амплитуды интерференционного сигнала нечетных гармоник полученной комбинированной дифракционной и интерференционной картин JL .

Однако при известном способе ограничен диапазон измеряемых отверстий .

Цель изобретения - расширение диапазона измеряемых отверстий.

Для этого в способе измерения диаметра отверстия путем облучения отверютия электромагнитной волной и измерения амплитуды интерференционного сигнала нечетных гармоник полученной комбинированной дифракционной и интерференционной картин изменяют длину электромагнитной волны и фиксируют длину волны, при которой eiMплитуда интерференционного сигнала нечетных гармоник равна удвоенному значению амплитуды электромагнитной волны в свободном пространстве.

На чертеже приведена диаграмма, поясняющая способ измерения.

Способ осуществляется следующим образом.

5 Электромагнитной волной облучают из точки 1 измеряемое отверстие 2, с другой стороны которого получают комбинированную дифракционную и интерференционную картину. Затем опреfQ деляют амплитуду излученной волны в точке 3 свободного пространства. При измерение амплитуды интерференционного сигнала нечетных гармоник ведут по максимальной амплитуде в точке 4 с одновременным измене15нием длины волны облучения до значения длины волны / , при которой амплитуда интерференционного сигнала нечетных гармоник в точке 4 равна удвоенному значению с1М11литуды элек20тромагнитной волны в точке 3 свободного пространства.

Диаметр D измеряемого отверстия 25 2 определяют по формуле D zVET, где Е - расстояние ме5вду точкой 4 приема и измеряемым отверстием 2.

Способ по сравнению с известным расширяет диапазон измеряемых отверстий в 300 раз.

Формула изобретения

Способ измерения диаметра отверстия путем облучения отверстия электромагнитной волной и измерения амплитуды интерференционного сигнала нечетных гармоник полученной комбинированной дифракционной и интерференционной картин, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых отверстий, изменяют длину электромагнитной

волны и фиксируют длину волны, при которой амплитуда интерференционного сигнала нечетных гармоник равна удвоенному значению амплитуды электромагнитной волны в свободном пространстве .

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 3954337, кл.С 01 В 9/02, 1976.