Высоковакуумный криогенный насос Советский патент 1980 года по МПК F04B37/08 

Изобретение относится к вакуумной технике. Известны высокрвакуумные крйогенные насосы, со)п;ержащие размещенные в корпусе конденсирующие элементы, охлаждаемые жидким водородом или жид ким гелием, расположенные между охлаждаемыми теплозащитными экрана . Насосы соединяются с откачиваемым объемом магистралью Это влечет за собой ог аничение быстроты откачки насоса проводимостью магистрали. Наиболее близкими по технической сущности и достигаемому результату являются высоковакуумные криогейные насосы, содержащие конденсируюьдае элементы, расположенные между- плрс.ким и шевронным теплозащитньпин экрй,нами, снабженными кайсшами для хлада гента 2. Быстрота откачки насосов встроен ного типа определяется коэффициентом згисвата системы теплозащитный конденсирующие элементы, т. е, .Отношением количества газа, поглощенного крионасосом, к количеству газа, пост пающего к входной поверхности теплозащитного экрана. . В известном насосе теплозащитный экран шевронного типа выполнен оптически непрозрачным по отношению к конденсирующим элементам и к плоскому экрану. Это условие необходимо, так как конденсирующие элементы насоса расположены перед плоским экраном и параллельно ему. Попадание теплового потока, на конденсирующие элементы недопустимо, так как при этом существенно увеличивается расход хладагента, используемого для охлаждения конденсирующих элементов, иухудшается экономичность насоса. Кроме того, тепловой поток на поверхность конденсирующих элеме1 тов вызывает перегрев наружного слоя криоосадка, -что повышает предельное давление, достигаемое насосом, а в отдельных случаях может привести к срыву режима работы насоса. Шевронный экран снижает тепловой поток, попадающий на конденсирующие элементы до 0,7% от потока, падающего на входную по верхность шеврона. Однако вероятность пролета молекулы через оптически непрозрачный-шеврон непревышает 0,23, и коэффициент захвата криопанели с экраном не может быть больше 0,23.