Способ откачки объема Советский патент 1983 года по МПК F04B37/08 

S

(Л

СПОСОБ ОТКАЧКИ ОБЪЕМА секционным криоадсорбционным насосом путем последовательной подачи хладагента в каждую секцию и поочередного отключения последних от откачиваемого объема, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени вакуумирования объема насосом с пористыми экранами, секции отключают подачей в насос легкоконденсируемого газа с последующей конденсацией его в порах экрана. .

о

isoA

СО

о оо

1 Изобретение относится к вакуумной технике. Наиболее близким к предлагаемому техническим решением является способ откачки объема секционным криоадсорбционным насосом путем последовательной подачи хладагента в каждую секцию и поочередного отключения последних от откачиваемого объема .(. Однако известный способ требует значительных затрат времени на достижение предельного вакуума вследствие использования механических средств отключения секций от вакуумируемого объема. Целью изобретения является сокращение времени вакуумирования объема насосом с пористыми экранами. Указанная цель достигается тем, что согласно способу откачки объема секционным криоадсорбционным насосом путем последовательной подачи хладагента в каждую секцию и поочередного отключения последних от откачиваемого объема, секции отключают подачей в насос легкоконденсируемого газа с последующей конденсацией его в порах экрана. На чертеже изображена схема криоадсорбционного насоса, работающего по предлагаемому способу. Секционный криоадсорбционный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2, посредством которого насос сообнХен с откачиваемым объемом 3. В корпусе 1 размещены отдельные крмоадсорбционные сек ции 4 с адсорбентом 5, защищенным от теплового излучения тепловых стенок корпуса 1 пористым экраном 6. Для осуществления подачи легкоконденсируемого газа в насос на корпусе установлен вентиль 7. Насос работает следующим образом. В одну из секций 4 подается хладагент, который охлаждает адсорбент 5 и пористый экран 6. По мере охлаждения адсорбент поглощает газ, поступающий из объема 3. Достигнув насыщения при определенном давлении адсорбент 5 прекращает поглощение газа. После насыщения адсорбента 5 в первой секции 4 в насос через вентиль 7 подают легкоконденсируемый газ, например пары воды или углекислый газ, и конденсируют его в порах экрана 6. Затем подают хладагент во вторую секцию 4 насоса. Сконденсированный газ препятствует десорбции адсорбированного газа. После насыщения второй секции 4 вновь осуществляют подачу легкоконденсируемого газа в насос. Далее все операции повторяют в этой же последовательности. Если понижение давления проводить по известному способу, т. е. путем подачи хладагента в следующую секцию, то по мере понижения давления в насосе условие равновесия газа, находящегося в адсорбированном состоянии в первой секции, с давлением газа в насосе нарущается, что приводит к десорбции газа из этой секции, а следовательно, к ухудщению предельного вакуума, достигаемого насосом. Таким образом, отключение секций от вакуумируемого объема путем подачи в насос легкоконденсируемого газа и конденсации его в порах экрана значительно сокращает время вакуумирования. Кроме того, применение предлагаемого способа позволяет также упростить конструкцию насоса ввиду исключения механических устройств для отключения секций от вакуумируемого объема.