Интерферометр для контроля толщины пленок в процессе их нанесения на поверхность детали в вакууме Советский патент 1980 года по МПК G01B11/06 

Рабочая ветвь интерферометра включает в себя верхние призму 3 и клин 5 и участок поверхности детали (:Ьочка F,) , на который напыляется пленка, эталонная ветвь - нижние призму 4 и клин 6и участок поверхности (точка Fjj,) , свободный от напыляемой пленки благодаря экрану 11.

Клинья 5 и б имеют форму полудисков, попарно скрепленных вершинами, и могут разворачиваться вокруг оптической оси интерферометра на равные углы в противоположные стороны.

Отражатели 12 и 13 склеены с объективами 8 и 9 и перемещаются поступательно вдоль оптической оси интерферометра.

Интерферометр работает следующим образом.

Пучок света от осветительной системы 1 попадает на.призмы 3 и 4, которые делят его на две ветви - рабочую и эталонную и отклоняются клиньями 5 и б на одинаковые углы в противоположные стороны. Затем пучки обеих ветвей проходят через светоделитель 7 и фокусируются объективом 8 на поверхность детали: пучок рабочей ветви - в точке F , а пучокэталонной ветви - в точке F поверхности детали. Пучок рабочей ветви отражается от поверхности детали, проходит объектив 9, смещается и отражается экраном 11,. попадает в объектив 9, вновь фокусируется в точке Ц , повторно отражается от поверхности детали, попадает в объектив 8 и, отражаясь, от светоделителя 7, направляется в регистрирующий узел 10.

Эталонный пучок в той же последовательности .проходит те же оптические элементы и попадает в регистрирующий узел 10,где рабочий и эталонный пучки интерферируют между собой

При напылении пленки в точке Fj происходит изменение разности хода в ветвях интерферометра, что вызывает изменение освещенности интерференционной картины, по которой судят о контролируемом параметре.

Формула изобретения

Интерферометр для контроля толщины пленок в процессе их нанесения на поверхность детали в вакууме, содержащий последовательно установленные осветительную систему, оптический блок, разделяющий световой пучок на

5 две ветви - рабочую и эталонную, два объектива и регистрирующий узел, и экран, предназначенный для экранирования участка поверхности, отличающийся тем, что, с целью

0 повышения точности контроля, он снабжен двумя отражателями, каждый из которых закреплен на одном из объективов вершинами в противоположные стороны с возможностью перемещения вдоляь оптической оси интерферометра, располагаемой под углом к.поверхности детали, а объективы расположены софокусно между собой, оптический блок выполнен из последовательно расположенных двух парал0лелограммных призм, скрепленных вершинами, двух пар склеенных вершинами клиньев, каждая .из которых установлена с возможностью разворота вокруг оптической оси интерферометра, и светоделителя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР 306342, кл. G 01 В 11/06, 1973 (прототип).

к-к

К в

9иг.2