Интерференционный измерительлиНЕйНыХ пЕРЕМЕщЕНий Советский патент 1981 года по МПК G01B11/02 

ренциатор 14, сумматор 15, блок 16 вычитания, фазометр 17. Измеритель работает следующим образом. Излучение источника / когерентного светового излучения делится полу;прозрачным зеркалом 2 на два направления: к подвижному отражателю 3, перемещение которого измеряется, к к неподвижному отражателю 4, Механически связанному с ттьезопреобразователем 5, совершающим колебагельные движения под действием сигналов, поступающих с генератора 6. Отраженные отражателями 5 и 4 лучи, интерферируют на полупрозрачном зеркале 7 ,и, отражаясь, попадают через диафрагмы S ,и Р на фотопр.иемн1И1Ки 10 и 11. Сигналы с фотоприемников 10 к 11 усиливаются избирательными усилителями 12 и 13, настроенными ,на частоту генератора 6, выделяющими первую гармоническую составляющую инф0fpмaiциoнныx сигналов. Сигнал с выхода избирательного усилителя 12 дифферендируется дифференциатором 14. Сигналы с выхода дифференциатора 14 и избирательного усилителя 13 поступают .на входы сумматора 15 и блока 16 1ВЫЧ:Итания. При перемещении отражателя 3 на выходе Сумматора 15 и блока 16 вычитания формируются сигналы: ,, Ат.а (/„ - cos iy,,l cos|Q где а - амплитуда колебания от ражатеК -: длина волны когерентного источника/;Q - частота генератора 6; t - время; X - измеряемое перемещение отражателя 3, разность фаз которых измеряется фазометром 17. Формула и 3 о б р е т е н И я Интерференционный измеритель линейных перемещений, .содержащий интерферометр Майкельсоиа с элементом сканироваяия в опорной ветви, светоделительный эле(Мент, установленный н-а выходе интерферометра, два фотоприемника, два из бирательиых усилителя, дифференциатор, сумматор, фазометр с индикацией целого числа периодов, выход дифферен1циатО|ра соединен с первым входом сумматора, а вход подключен к выходу первого избирательного усилителя, вход которого соединен с первым фотоприемником, выход сумматора соединен с первым входом фазометра, а второй вход сумматора подключен к выходу второго избирательного усилителя, вход которого соединен с вторым фотоприемником, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности измерений, он снабжен блоком вычитания, выход которого соединен с вторым входом фазометра, а входы подключены к выходам избирательных усилителей. Источн;ики ннфор1маци«, принятые внимание при экспертизе: Г. Патент Великобритании № 1292902, кл. G 01 В 9/02, 1972. 2. Connes Р. and Michel G. Astronomical Fourier Spectrometer. Applied Optics, September, 1975, № 9, vol. 14, p. 2067-2084 (прототип).