одного из которых располагается исследуемый объект 4, а на пути другого - эталонный объект 5, поляроид 6, поворачивающий плоскость поляризации па 90°, оптическую систему совмещения световых мпучков, состоящую из призмы 7 (или полупрозрачного зеркала) п зеркала S, преобразователь 5 эллиптически поляризованного света в плоско-поляризованный, анализатор 10 поляризованного света, экран 11, датчик 12, срабатывающий при появлении светового образа па экране 11, узел 13, осуществляющий последовательную замену эталонного объекта 5 на изменившийся объект.
Устройство работает следующим образом.
Свет от источника 1 когерентного плоско-поляризованного света расщепляется на два пучка лучей призмой 2 (или полупрозрачным зеркалом) и зеркалом 3, и одним пучком освещается исследуемый объект 4, а другим - эталонный объект 5. На пути одного из пучков лучей имеется пол-яроид 6, поворачивающий плоскость поляризации на 90°. Далее свет поступает на оптическую систему совмещения световых пучков, состоящую также из призмы 7 , (или полупрозрачного зеркала) и зеркала 8. Система, состоящая из зеркал 5 и S, призм 2 и 7 и поляроида 6, составляет двухплечевой интерферометр, в один из лучей которого помещается исследуемый объект 4, а в другой - эталонный объект 5. Интер/ферированный свет эллиптически поляризован и преобразуется в поляризованпый свет посредством преобразователя 9. Анализ света производится с помощью анализатора 10 поляризованного света. Световой образ фиксируется на экране //. . . При полной идентичности геометрических характеристик исследуемого объекта и эталонного объекта 5 свет на выходе интерферометра полностью интерферирует и полностью эллиптически поляризован. Преобразователем 9 свет полностью преобразуется в плоско-поляризованный свет и при скрещении плоскости поляризации света и оптической оси анализатора 10 экран // остается темным.
При малейшем расхождении геометрических характеристик исследуемого объекта 4 и эталонного объекта 5. свет на выходе интерферометра эллиптически поляризован не полностью. В месте расхождения геометрических характеристик присутствует
плоско-поляризованная составляющая све та, плоскость поляризации которой после прохождения преобразователя 9 не совпадает с плоскостью поляризации света в местах .идентичности геометрических характеристик. Это расхождение анализируется анализатором и на экране 11 в месте расхождения появляется световое пятно, полностью соответствующее геометрическому образу разности характеристик эталонного объекта и,исследуемого объекта, что регистрируется датчиком .12, срабатывающим при появлении светового образа, который ггриводит в действие узел 13, осуществляющий последовательную замену эталонного объекта на изменившийся объект.
Узел 13 осуществляет последовательную замену эталонного объекта 5 на изменившийся объект 4, в результате чего сам
изменившийся исследуемый объект 4 становится эталонным объектом. Эталонным объектом 5 становится изображение очередной стадии исследуемого объекта 4. Если изменений исследуемого объекта не происходит, то световой образ, регистрируемый датчиком 12, не возникает. При очередных изменениях объекта устройство производит аналогичные замены эталонного и исследуемого объектов.
Замена эталонного объекта исследуемым изменившимся объектом позволяет зафиксировать последовательные стадии изменения геометрии объекта, что может найти применение при исследовании процессов, связанных с изменениями геометрических характеристик объектов.
Фор1мула изобретения
Устройство для контроля геометрических характеристик объекта по авт. св. № 590596, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, оно снабжено датчиком, срабатывающим при появлении светового образа и установленным: по ходу световых лучей за экраном, и связанным с ним узлом, осуществляющим последовательную замену эталонного объекта на изменившийся
объект.
Источник информации, принятый во внимание при экспертизе:
. Авторское свидетельство СССР № 590596, кл. G 01 В М/02, 1976 (прототип) .
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для контроля геометрических характеристик объекта | 1976 |
|
SU590596A1 |
Автоколлимационное устройство | 1990 |
|
SU1727105A1 |
Устройство контроля качестваКРиСТАлличЕСКиХ лиНз | 1978 |
|
SU836764A1 |
Способ измерения высоты микронеровностей шероховатой поверхности и устройство для его осуществления | 1985 |
|
SU1302141A1 |
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА ОБЪЕКТА И ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПРИПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ, МОДУЛЯЦИОННЫЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ СПОСОБА | 2001 |
|
RU2181498C1 |
Способ определения оптической плотности фазовых объектов и устройство для его осуществления | 1980 |
|
SU1139977A1 |
Устройство для диагностики оптических активных сред | 1969 |
|
SU521455A1 |
Устройство для измерения давлений | 1983 |
|
SU1150503A1 |
Интерференционно-теневой прибор | 1974 |
|
SU505943A1 |
ДИФРАКЦИОННЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР (ВАРИАНТЫ) | 2003 |
|
RU2240503C1 |
Авторы
Даты
1981-01-07—Публикация
1979-04-23—Подача