Устройство для контроля геомет-РичЕСКиХ ХАРАКТЕРиСТиК Об'ЕКТА Советский патент 1981 года по МПК G01B11/02 

Описание патента на изобретение SU794368A1

одного из которых располагается исследуемый объект 4, а на пути другого - эталонный объект 5, поляроид 6, поворачивающий плоскость поляризации па 90°, оптическую систему совмещения световых мпучков, состоящую из призмы 7 (или полупрозрачного зеркала) п зеркала S, преобразователь 5 эллиптически поляризованного света в плоско-поляризованный, анализатор 10 поляризованного света, экран 11, датчик 12, срабатывающий при появлении светового образа па экране 11, узел 13, осуществляющий последовательную замену эталонного объекта 5 на изменившийся объект.

Устройство работает следующим образом.

Свет от источника 1 когерентного плоско-поляризованного света расщепляется на два пучка лучей призмой 2 (или полупрозрачным зеркалом) и зеркалом 3, и одним пучком освещается исследуемый объект 4, а другим - эталонный объект 5. На пути одного из пучков лучей имеется пол-яроид 6, поворачивающий плоскость поляризации на 90°. Далее свет поступает на оптическую систему совмещения световых пучков, состоящую также из призмы 7 , (или полупрозрачного зеркала) и зеркала 8. Система, состоящая из зеркал 5 и S, призм 2 и 7 и поляроида 6, составляет двухплечевой интерферометр, в один из лучей которого помещается исследуемый объект 4, а в другой - эталонный объект 5. Интер/ферированный свет эллиптически поляризован и преобразуется в поляризованпый свет посредством преобразователя 9. Анализ света производится с помощью анализатора 10 поляризованного света. Световой образ фиксируется на экране //. . . При полной идентичности геометрических характеристик исследуемого объекта и эталонного объекта 5 свет на выходе интерферометра полностью интерферирует и полностью эллиптически поляризован. Преобразователем 9 свет полностью преобразуется в плоско-поляризованный свет и при скрещении плоскости поляризации света и оптической оси анализатора 10 экран // остается темным.

При малейшем расхождении геометрических характеристик исследуемого объекта 4 и эталонного объекта 5. свет на выходе интерферометра эллиптически поляризован не полностью. В месте расхождения геометрических характеристик присутствует

плоско-поляризованная составляющая све та, плоскость поляризации которой после прохождения преобразователя 9 не совпадает с плоскостью поляризации света в местах .идентичности геометрических характеристик. Это расхождение анализируется анализатором и на экране 11 в месте расхождения появляется световое пятно, полностью соответствующее геометрическому образу разности характеристик эталонного объекта и,исследуемого объекта, что регистрируется датчиком .12, срабатывающим при появлении светового образа, который ггриводит в действие узел 13, осуществляющий последовательную замену эталонного объекта на изменившийся объект.

Узел 13 осуществляет последовательную замену эталонного объекта 5 на изменившийся объект 4, в результате чего сам

изменившийся исследуемый объект 4 становится эталонным объектом. Эталонным объектом 5 становится изображение очередной стадии исследуемого объекта 4. Если изменений исследуемого объекта не происходит, то световой образ, регистрируемый датчиком 12, не возникает. При очередных изменениях объекта устройство производит аналогичные замены эталонного и исследуемого объектов.

Замена эталонного объекта исследуемым изменившимся объектом позволяет зафиксировать последовательные стадии изменения геометрии объекта, что может найти применение при исследовании процессов, связанных с изменениями геометрических характеристик объектов.

Фор1мула изобретения

Устройство для контроля геометрических характеристик объекта по авт. св. № 590596, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, оно снабжено датчиком, срабатывающим при появлении светового образа и установленным: по ходу световых лучей за экраном, и связанным с ним узлом, осуществляющим последовательную замену эталонного объекта на изменившийся

объект.

Источник информации, принятый во внимание при экспертизе:

. Авторское свидетельство СССР № 590596, кл. G 01 В М/02, 1976 (прототип) .

Похожие патенты SU794368A1

название год авторы номер документа
Устройство для контроля геометрических характеристик объекта 1976
  • Быков Александр Вячеславович
  • Попов Сергей Валерьевич
SU590596A1
Автоколлимационное устройство 1990
  • Ващенко Валерий Иванович
  • Конопальцева Людмила Ивановна
  • Кудрявцев Сергей Владимирович
  • Мохунь Игорь Иванович
  • Подильчук Николай Сидорович
  • Прохорович Петр Сильверстрович
SU1727105A1
Устройство контроля качестваКРиСТАлличЕСКиХ лиНз 1978
  • Сорока Владимир Васильевич
  • Лазорина Елизавета Ивановна
  • Сидоренко Владимир Владимирович
  • Золотов Анатолий Васильевич
  • Григорьева Наталия Борисовна
SU836764A1
Способ измерения высоты микронеровностей шероховатой поверхности и устройство для его осуществления 1985
  • Ангельский Олег Вячеславович
  • Максимяк Петр Петрович
SU1302141A1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА ОБЪЕКТА И ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПРИПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ, МОДУЛЯЦИОННЫЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ СПОСОБА 2001
  • Андреев В.А.
  • Индукаев К.В.
  • Осипов П.А.
RU2181498C1
Способ определения оптической плотности фазовых объектов и устройство для его осуществления 1980
  • Денчев Огнян Евгеньев
  • Жиглинский Андрей Григорьевич
  • Рязанов Никита Сергеевич
  • Самохин Александр Николаевич
SU1139977A1
Устройство для диагностики оптических активных сред 1969
  • Меньших Олег Федорович
SU521455A1
Устройство для измерения давлений 1983
  • Киселев Юрий Александрович
  • Шишигин Алексей Алексеевич
SU1150503A1
Интерференционно-теневой прибор 1974
  • Арбузов Виталий Анисифорович
  • Полещук Александр Григорьевич
  • Федоров Вадим Александрович
SU505943A1
ДИФРАКЦИОННЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР (ВАРИАНТЫ) 2003
  • Коронкевич В.П.
  • Ленкова Г.А.
RU2240503C1

Иллюстрации к изобретению SU 794 368 A1

Реферат патента 1981 года Устройство для контроля геомет-РичЕСКиХ ХАРАКТЕРиСТиК Об'ЕКТА

Формула изобретения SU 794 368 A1

SU 794 368 A1

Авторы

Быков Александр Вячеславович

Попов Сергей Валерьевич

Даты

1981-01-07Публикация

1979-04-23Подача