Способ измерения скоростипОВЕРХНОСТНОй РЕКОМбиНАции Советский патент 1981 года по МПК H01L21/66 

разца от величины напряженности электрического поля одной полярности в постоянном магнитном поле. Кроме того, он включает измерение амплитудного значения сигнала фотолюминесценции при отсутствии электрического и магнитного полей и вычисление скорости поверхностной рекомбинации неравновесных носителей заряда на освещаемой поверхности образца по формуле 3.

Недостатком этого способа является то, что он также не позволяет измерять скорость поверхностной рекомбинации на противоположных поверхностях образца в едином цикле измерений, и для выполнения этих измерений необходимо производить перечисленные операции дважды (для одной и другой поверхности).

Целью изобретения является упрощение способа измерения и обеспечение возможности измерения параметра на обеих поверхностях образца в едином цикле.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу, включающему изготовление омических контактов к образцу, установку образца в магнитном поле, создание в нем электрического поля меняющейся напряженности, причем направление векторного произведения электрического и магнитного полей перпендикулярно поверхности исследуемого образца, фокусировку рекомбинационного излучения и возбуждающего света с энергией, превышающей ширину запрещенной зоны, измерение зависимости сигнала фотолюминесценции с освещаемой поверхности образца от величины напряженности электрического поля одной полярности в постоянном магнитном поле, дополнительно чередуют полярность электрического поля, измеряют указанную зависимость одновременно с неосвещаемой поверхности образца, регистрируют значения напряженностей электрических полей, соответствующих максимальным значениям сигналов люминесценции, и вычисляют параметр по формуле:

s.y

Тмакс /(«)

е G - безразмерная генерация неравновесных пар носителей; 7макс - безразмерное поле, соответствующее максимальным значениям сигналов фотолюминесценции;

Р - квантовый выход; F(a) - функция, зависящая от у; S- - безразмерная скорость поверхностной рекомбинации на освещаемой поверхности; S+ - безразмерная скорость поверхностной рекомбинации на неосвещаемой поверхности.

Указанные величины связаны следующими соотношениями:

F(a) J(a)

|1/2 У

)./(a)PJ

г

(-ITTTV

оо

Eg /rf(2.gr- kT I cn№ r т„ + тр1

9V;,d

E.HTmax -

2ckT

G -,

D-N

20 где g- -размерная скорость генерации

неравновесных пар; т„, Шр - эффективная масса электронов и

дырок соответственно; /I - постоянная Планка; 25с - скорость света;

k - коэффициент Больцмана; Y - безразмерное поле; - подвижность электронов; D - коэффициент биполярной диф30фузии;

п- показатель преломления материала;Eg - ширина запрещенной зоны;

Г -температура; 35Е - напряженность электрического

поля;

Л - концентрация нескомпенсированных примесей;

5-размерная скорость поверхност40ной рекомбинации;

Я - напряженность магнитного поля; q - заряд электрона; L -диффузионная длина; d - толщина образца.

45 На чертеже изображена схема реализации предлагаемого способа. Схема содержит исследуемый образец 1, снабженный омическими контактами и выводами, полюса 2 электромагнита, источник 3 возбуждающего света, фокусирующие линзы 4 и 5, приемник 6 сигнала фотолюминесценции.

Последовательность операций при осуществлении данного способа следующая.

Исследуемый образец 1, снабженный 55 омическими контактами и выводами, с помощью которых в нем создается электрическое поле, помещается между полюсами 2 электромагнита, причем направление векторного произведения электрического и 60 магнитного полей перпендикулярно поверхности образца 1. Возбуждающий свет от источника 3 попадает на поверхность образца через фокусирующую линзу 4. Излучение от поверхностей (освещаемой и не65 освещаемой) фокусируется линзами 5 и

регистрируется приемниками 6 сигналов фотолюминесценции.

В полупроводниковой пластине, помещенной в скрещенные электрическое и магнитное поля, под действием возбуждающего света возникают неравновесные пары электрон-дырка, на которые действует сила Лоренца. Б зависимости от направления силы Лоренца, которое в данном способе изменяется за счет приложения электрического поля чередующейся полярности, замедляется или ускоряется поток неравновесных носителей в объем образца с поверхности. В результате в том случае, когда неравновесные пары электрон-дырка аккумулируются вблизи освещаемой поверхности, самопоглощение рекомбинационного излучения падает, а значит интенсивность сигнала фотолюминесценции с освещаемой поверхности образца растет с увеличением напряженности электрического поля цри постоянной величине напряженности магнитного поля. При некоторой величине напряженности электрического поля наблюдается максимум сигнала фотолюминесценции. Когда меняется полярность электрического поля, происходит концентрация неравновесных пар вблизи неосвещаемой поверхности образца и наблюдается аналогичная зависимость сигнала фотолюминесценции с неосвещаемой поверхности образца. По указанным зависимостям сигналов фотолюминесценции от напряженности электрического поля определяют скорость поверхностной рекомбинации на освещаемой и неосвещаемой поверхностях образца.

Благодаря измерению зависимости сигнала фотолюминесценции от величины напряженности электрического поля одновременно с освещаемой и неосвещаемой поверхностей образца, что достигается чередованием полярности электрического поля и использованием двух приемников сигналов фотолюминесценции, упрощается способ измерений и появляется возможность измерения интересующего параметра на обеих поверхностях образца в едином цикле, когда исключается необходимость переворачивать образец.

Формула изобретения

Способ измерения скорости поверхностной рекомбинации неравновесных носителей заряда, включающий изготовление омических контактов к образцу, установку образца в магнитном поле, создание в нем электрического поля меняющейся напряженности, причем направление векторного произведения электрического и магнитного полей перпендикулярно поверхности исследуемого образца, фокусировку рекомбинационного излучения и возбуждающего

света с энергией, превышающей ширину запрещенной зоны, измерение зависимости сигнала фотолюминесценции с освещаемой поверхности образца от величины напряженности электрического поля одной полярности в постоянном магнитном поле, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа и обеспечения возможности измерения параметра на обеих поверхностях образца в едином цикле, чередуют

полярность электрического поля, измеряют указанную зависимость одновременно с неосвещаемой поверхности образца, регистрируют значения напряженностей электрических полей, соответствующих максимальным значениям сигналов люминесценции, и вычисляют параметр по формуле:

У-

Гмакс («)

г Тма:

где G - скорость генерации неравновесных пар носителей;

7макс - безразмерное поле, соответствующее максимальным значениям сигналов фотолюминесценции; р - квантовый выход;

F{a) -функция, зависящая от ф;

S- - скорость поверхностной рекомбинации на освещаемой поверхности;

S+ - скорость поверхностной рекомбинации на неосвещаемой поверхности.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Петрусевич В. А. Физика твердого тела. 1961, Т. 3, вып. 6, с. 1268.

2.Пека Г. П. и др. Определение рекомбинационных параметров полупроводников

из спектров возбуждения фотолюминесценции. 1975, т. 9, вып. 10, с. 1920-1924.

3.Патент ГДР № 84687, кл. 21е 31/26, 1971 (прототип).