Электростатический электронный микроскоп Советский патент 1949 года по МПК H01J37/26 H01J37/12 

Настоящим изобретением предласается электроетатический электронный микроскоп, имею1циГ1 одно вакуумное соединение. Оптика микроскопа монтируется на металлическом тубусе и точно цент)ируется при юмощи оптических методов. Тубус смеиден в ко,ч)нне; это позволяет подвести питание внутри колонны и получить предельный вакуум во всем ее объеме.

Недостатком су1цествуюп 1.их элект юпных микроскопов является необходимость многих вводов высоког:0 напряжения п сравнительно низкий предельны вакуум системы. Нос.леднее объясняется прежде Bceio большим сопротив.тепием колонны с ее сложным внутренним профилем, что подтверждено просчето.м этих систем. Кроме того, имеет значение больнюе количество вакуумных вводов.

Отличите,льной особенностью гфедлагаемого микроскопа является эксг1,ентричное расположение тубуса е электронной оптикой в колонне, позволяющее получить предельный вакуум во всем объеме колонны и

осуи;ествить оощни подвод наирял еппя внутри .

Описываемый микроскоп изображен на при.шгае.мом чертеже.

Электроны, выделяемые накаленным катодом /, формируются в

пучок и ускоряются Прн nOMOHJ.

управ.ляю1це1о электрода 2 и анодной диафра1-мы 3. Перед объектом 10 установлена осветительная диа(bpaiMa 4, вырезающая тонкий пучок э.тектронов, который падает на объект, частично рассеивается в пе.м и, фиксируясь лин: амп 5, 6 п 7, дает изоб заженпе на 8 (или фотопластинке). Все э.чектронпо-лучевые элементы установлены на металлическом тубусе 9. Нри работе прибора необходимо регулировать только положение ИИ1И катода винтом /5 И nej5eмепхать объект 10 через люк 16 д.тя выбора iiyiKHoro участка рассмотрения.

Тубус уетанавливается эксцентрично в металлический кожух //, представляюндий собой корпус микроскопа. Зазор между тубусом и корпусом может быть легко доведен до сечения, удовлетворяюгцего

Bbiopaiiiioii скорости откачки насоса. Эксцентричное расположение тубуса позволяет получить необходимое место для размещения нроводов высокого напряжения к осветительной системе и электродам . 12. Так.им «бразом, все ировода высокого напряжения jiacrio.гагаются метал.мическ.оги корпус.а и вводятея в одном мсете. Л икроскои, имея один глюд высокого иапр.яжсния. может бглъ смонтирован на стенде H))oeTei i uero тина (наиример, , при этом ввод высокого напряжения 13 можно

17

расноложигь под

через фотокамеру 14.

Предмет изобретения

Э.пект|к статич(,ский электронныСг микроскоп, о т л и ч а ю И1 и и с я тем, что, с це.мыо получения предельного вакуума во веем объеме колонны, и оеун ествления подвода напряжения внутри ко.тонны, тубус с электронной оптикой смещен относительно оси ко.понны, благодаря чему откачка ко.юнны может производиться при одном вакуумн(1М вво-. де.