Прибор для определения скорости откачивания вакуумными насосами и измерения вакуумной проводимости Советский патент 1949 года по МПК G01P5/08 

Предметом изобретения является прибор для определения скорости откачивания вакуумньши насосами и измерения вакуумной проводнм-ости с применением манометров.

Отличительной |0саб.енн:остью предлагаемого прибора 5голяется соединение испытуемого насоса, регулируемых дросселей и манометров по схеме моста Уитстона.

На фиг. 1 и 2 приведены пневматические схемы предлатаемого прибора при использовании его для вышеуказанных измерений. Здесь имеются след тощие обозначения: ЛР2 - регулируемый дроссель, соединенный с атмосферой; Kpi - кран, соединяющий дроссель Др с прибором; Wi и W2 - регулируемые дроссели, у которых устанавливается одинаковая вакуумная проводимость, W - измеряемая вакуумная проводимость; Др1 - отградуированный дроссель; MI и Ма - манометры, измеряющие давление соответственно в точках А и В; ДН и ФЯ - диффузионный и форвакуумный насосы; ББ - балластный баллон.

Перед производством измерений

точками Л и С (фиг. 1) при

по:МОЩ1И дросселей Wi, и Др1

устанавливается соответствующий период давлений.

Затем кран Kpz ставится в -такое положение, при котором мано.метр MZ измеряет давление в точке А.

Изменяя вакуумную проводимость дросселя Дрь можно добиться равных показаний у манометров М, и Л12, при которых проводимость измеряемого элемента W, будет равна проводимости дросселя Др1.

Если необходимо оценить величину течи в вакуумной системе по ее вакуумной проводимости, то первая подключается одним концом к точке А. Дроссель Др1 при этом соединяется с атмосферой, после чего измерения производятся вышеописанным образом.

При измерениях скорости откачки в ветвь / моста (фиг. 2) включается испытуемый насос, а в ветвь 2 - насос с известной скоростью откачки и отградуированный дроссель Др2. При этом проводимости ветвей 3 и 4 должны быть равны.

Для действительной скорости откачки Se в ветви 2 справедлива 1

где VS - изформула Se j

вестная скорость откачки насоса

9Л7

вакуумная проводимость дросселя в этой ветви. Регзлируя дроссель Др1, можно добиться совпадения показаний манометров М и М, причем скорость Se будет равна скорости откачки у испытываемого насоса.

Предмет изобретения

Прибор для определения скорости откачивания вакуумными насосами и измерения вакуумной проводимости с применением манометров, присоединенных к вакуумной системе, составленной из испытуемого объекта, форвакуумного и диффузионного насосов, балластного баллона между ними и трубопроводов с кранами и регулируемыми дросселями, отличающийся тем, что испытуемый насос и три регулируемые дросселя, в том числе один градуированный, последовательно к которому приключен контрольный насос с известной скоростью откачивания или измеряемой проводимостью, соединены по схеме моста Уитстона с установленными в двух его узловых точках манометрами, по равенству показаний которых определяют равенство скорости откачивания испытуемого и контрольного насосов или равенство вакуумных проводимостей испытуемого объекта и градуированного дросселя.

«2

М,