Тензометрический преобразователь Советский патент 1981 года по МПК G01L9/04 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть испольч зовано при конструировании датчиков неэлектрических величин, например датчиков давления. По основному авт. ев, № 605131 известно тензометрическое устройство, содержащее тензорезисторы, например из кремния, воспринимающие деформацию и преобразующие ее в изменение сопротивления плеч мостовой схемы, резисторы балансировки, выполненные из того же материала и включенные параллельно меньшим частям тензорезисторов, сопротивление которых равно , «Rmax -(-) где R.., йуг,о,и номинальное, максимальное и минимальное значения тензорезисторов, получаемые в результате технологического разбаланса ШНедостатки устройства - необходи мость применения дополнительных эле ментов термокомпенсации, изменения чувствительности при проведении изм рений в условиях меняющихся темпе| а тур. Б этом случае применяются наве ные терморезисторы, что снижает точность тензопреобразователя. Цель изобретения - повышение точности тензопреобразователя. Указанная цель достигается тем, что в устройство введен терморезистор, выполненный из полупроводникового материала, расположенный симметрично относительно плеч мостовой схемы, ориентированный в продольном направлении под углом 45 к кристаллографическим осям. Кроме того, терморезистор выполнен из кремния и подключен через дополнительный резистор к выходной диагонали мостовой . На фиг. 1 изображена конструкция устройства; на фиг. 2 - электрическая схема тензопреобразователя. Тензопреобразователь включает подложку 1, на которой размещены тензорезисторы 2-7, .элементы балансировки 8 и 9, образующие мостовую схему, терморезистор 10, .расположенный симметрично относительно плеч мостовой схемы ивнешний резистор 11. Тензопреобразователь работает следующим образом. Воздействие механического параметра, например давления, вызывает де