Криогенный вакуумный насос Советский патент 1981 года по МПК F04B37/08 

(54) КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известны криогенные вакуумные насосы, содержащие корпус с входным патрубком и размещенные в корпусе криопанель, установленную между теплозащитными наружным и внутренним экранами, и разделительную перегорсдку 1.

Известный насос работает следующим образом.

Молекулы откачиваемого газа, попадая через входной патрубок в объе насоса и отражаясь от теплозащитных экранов и перегородки,конденсируютс на криопанели.

Известный насос обеспечивает высокую эффективность откачки лишь в молекулярном режиме течения газа. В переходном и вязкостном режимах часть молекул проходит к криопанели без столкновений с экранами и перегородкой, что приводит к увеличению тепловой нагрузки на криопанель и увеличению расхода хладагента.

Цель изобретения - повышение экономичности насоса.

Указанная цель достигается тем, что перегородка выполнена в виде охлаждаемого пористого цилиндра.

снабженного со стороны, противоположной входному патрубку, вымораживателем в виде сребренного диска и служащего нагружным экраном, а корпус имеет дополнительный патрубок, размещенный соосно входному патрубку.

На чертеже схематично показан разрез насоса.

0

Криогенный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2 и размещенные в корпусе 1 криопанель 3, установленную между теплозащитньми наружным и внутренним экра5нами 4 и 5, и разделительную перегородку. Перегородка выполнена в виде охлаждаемого пористого цилиндра, снабженного со стороны, противоположной входному патрубку 2, вымора0живателем в виде оребренного диска 6 и служит наружным экраном 4. Корпус 1 имеет дополнительный патрубок 7, размещенный соосно входному патрубку.. 2. ,

$

Криогенный насос работает следующим образом.

В начальный период откачки, когда давление откачиваемого газа еще высоко, газ подается в корпус 1 через

0 патрубок 7, проходит между ребрами

вымораживателя, где освобождается от легкоконденсируемых примесей, а зате через поры перегородки, служащей наружным экраном 4, достигает криопанели 3. После понижения давления откачиваемого газа откачка производится через патрубок 2.

В описанном криогенном насосе откачиваемый газ в переходном и вязкостном режимах охлаждается на пористом защитном экране до температуры ВО, что уменьшает теплоприток к криопанели с откачиваемым газом и повышает экономичность насоса.

Формула изобретения

Криогенный вакуумный насос, содержащий корпус с входным патрубком

и размещенные в корпусе криопанель, установленную между теплозащитнь ш наружным и внутренним экранами, и разделительную перегородку, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, перегородка выполнена в виде охлаждаемого пористого цилиндра, снабженного со стороны, противоположной входному патрубку, вымораживателеЙ в виде оребрениого диска и служащего наружным экраном, а корпус имеет дополнительный патрубок, размещенный соосно входному патрубку.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Авторское свидетельство СССР 455202, кл, F 04 В 37/08, 1972,

/