Магниторазрядный насос Советский патент 1981 года по МПК H01J41/12 

(54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к средств получения высокого и сверхвысокого вакуума.

По основному авт. св. № 499611 изв-естен магнитЬразрядный насос, содержащий корпус и размещенные в нем ячеистый анод и пластинчатые катоды, выполненные из палладия, герметично соединенные с корпусом по периметру в котором в области,

находящейся под катодами, выполнены отверстия 1 .

Такой насос обладает повьииенной быстротой откачки водорода во всем диапазоне рабочих давлений. Однако этот насос практически не способен откачивать другие газы, так как палладий является малоактивным металлом и не вступает в химические соединения с активными газами.

При откачке активных газов, а также инертных газов наблюдается сильное распыление в результате ионной бомбардировки части катода, расположенной вблизи оси разряднойячейки. После длительной откачки

в катоде образуются сквозные отверстия. Такое явление особенно опасно для указанного насоса, где палладиевые катоды имеют толщину всего лишь 0,2-0,5 мм и не могут быть за:менены при ремонте.

Цель изобретения - повышение скорости откачки и надежности насоса.

Поставленная цель достигается тем, что в известном магниторазрядном насосе, содержащем корпус,яче0истый анод, магнитную систему и пластинчатые катоды, выполненные из палладия и соединенные герметично по периметру с корпусом, на катоде соосно разрядным ячейкам анода рас5положены штабики из металла с более высокими газопоглотительными свойствами чем палладий, например титана. Причем диаметр штабика равен 0,75-0,8 диаметра ячейки анода. 0 Штабики могут, быть коническими с конусностью, направленным в сторону анода.

На чертеже показан предлагаемый насос.

5

Насос содержит корпус 1, внутри которого расположен анод 2, палладиевыё пластинчатые катоды 3, к которым соосно разрядным ячейкам присоединены штабики 4 из титана. 0 в области катодов в корпусе выпол