Способ изготовления отражающихКОпий дифРАКциОННыХ РЕшЕТОК Советский патент 1981 года по МПК G02B5/18 C03C17/22 

1

Изобретение относится к технологни изготовления оптических элементов, в частности, отражающих копий дифракционных решеток для ультрафиолетовой области спектра и может быть широко использовано в оптико-механической промышленности.

Известен способ изготовления копий дифракциоииых решеток путем нанесения на решетку-матрицу слоя алюминия с подслоем хрома (или титана) -заш,итного слоя, обработки покрытия гидрофобпзирующпм раствором (парами диметилдихлорсилана), нанесения слоя полимеризационноспособного материала (смолы), совмещения поверхности решетки-матрицы с подложкой копии из стекла, отверждения материала и отделения изготовленной копии от решетки-матрицы 1.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретеиию является способ изготовления копий дифракционных решеток путем нанесения на решетку-матрицу в вакууме разделительного и защитного слоев (лг/мм) приклеивания подложки из стекла, отделения копии от решетки-матрицы ио разделительному слою, удаления разделительного слоя, а также последующего нанесения на защитный слой отралсающего покрытия, например, алюминия и фтористого магния, вольфрама, золота, платины и т. д. 2.

К недостаткам этих способов относятся низкий коэффициент отражения копий дифракционных решеток в ультрафиолетовой области спектра, что связано с изменением профиля штрихов в процессе нанесения на готовую копию отрал ающего покрытия, а также возможность загрязнения поверхности копии при их изготовлении.

Цель изобретения - повышение коэффпJUit HTa отражения копий решеток в ультрафиолетовой области спектра.

Это достигается тем, что в известном способе изготовления отражающих копий дифракционных решеток путем нанесения в вакууме на решетку-матрицу разделительного и защитного слоев, приклеивания стеклянной подложки, отделения коиии, удаления разделительиого слоя и нанесения в вакууме отражающего покрытия, отражающее покрытие наносят на разделительный слой перед нанесением защитного слоя.

Отражающие копии дифракционных решеток по предложенному способу изготавливаются в следующей иоследовательности.

На дифракционную решетку-матрицу, поверхность которой защищена любым из известных способов, наносят в вакууме разделительный слой, например маннит, высокоотражающее покрытие, иапример вольфрам для копий, работающих в области спектра короче 110 нм, фтористый магний - для области более ПО нм, покрытие, например слой алюминия, приклеивают подложку копии, отделяют изготовленную копию от рещетки-матрицы по разделительному слою, а затем удаляют разделительный слой с копии решетки.

Ниже приведен конкретный пример выполнения описываемого способа.

Проводили изготовление отражающих копий дифракционных рещеток для ультрафиолетовой области спектра. На дифракционную решетку-матрицу 1800 штр/мм, изготовленную на слое алюминия и защищенную одним из известных способов в вакууме, последовательно наносили разделительный слой - маннит, высокоотражающее покрытие- фтористый магний, защитное покрытие - слой алюминия толщиной порядка 1 мкм. Затем приклеивают подлол ку копии из стекла, отделяют изготовленную копию от решетки-матрицы и удаляют разделительный слой с копии решетки.

Нанесение высокоотражающего покрытия в вакууме на разделительный слой перед

нанесением защитного покрытия обеспечивает вьшолнение профиля штрихов копий решеток, полностью соответствующих профилю штрихов решеток-матриц. При этом коэффициент отражения копий решеток в ультрафиолетовой области спектра увеличивается.

Формула изобретения

Способ изготовления отражающих копий дифракционных рещеток путем нанесения в вакууме на решетку-матрицу разделительного и защитного слоев, приклеивания стеклянной подложки отделения копии, удаления разделительного слоя и нанесения в вакууме отражающего покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения коэффициента отражения копий решеток в ультрафиолетовой области спектра, отражающее покрытие наносят на разделительный слой перед нанесением защитного слоя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 404036, кл. G 02В 5/18, 1970.

2. Патент США № 2464738, кл. 264-1; 1963.