Бесконтактный способ определенияОпТичЕСКОй длиНы МЕжду дВуМяпОлупРОзРАчНыМи пАРАллЕльНыМи пОВЕРХНОСТяМи Советский патент 1981 года по МПК G01B11/00 

узкий циапазон определяемых оптических длин (от 10 мкм до величины, определяемой поперечным размером контролируемых поверхностей, например, 2 см). Целью изобретения является повышение точности и расширение диапазона оп- редепяемых -рптических ДЛИН, Поставленная цепь достигается тем, что облучают контролируемые поверхности изменяемым по волновым числам оптическим излучением, фиксируют водные числа, соответствующие максимумам интерференционной картины в проход5пдем свете, а оптическую длину определяют по формуле: о fy,wa -ovnax -V Cl) v V-iV где . d - определяемая оптическая дли на, СМ{ 1) волновые числа, соответствукдцие максимумам интерф«-; ре1плионной картины в проходящим свете 1 -го и (-f+l)rCo порядков, см . На чертеясе изображена принципиапьная схема устройства, реализующего опи сываемый способ. Устройство содержит последовательно расположенные источник 1 оптического излучения, выполненный, например, в виде перестраиваемого СО. пазера с диапазоном перестройки от 920 до 1100 см | коллиматор 2, линзу 3, круглую диафрагму 4, расположенную в фокальной плос- кости линзы 3 в центре; интерференционной картины, фотоэлектрический приемник S, выполненный например в виде пироэлек трического приемника типа МГ-30, индикатор 6, представляющий собой, например осциллограф С1-72. Осуществляется предлагаемый способ следующим образом. Контролируемые поверхности 7, представляющие собой пластины интерферометра Фабри-Перо, облучают оптическим излучением,- -прошедшим через коллиматор 2 от источника 1. После контролируемых поверхностей 7 узлучение проходит через линзу 3, круглую диафрагму 4, рас положенную в фокальной плоскости лин аы 3 в центре интерференционной картины и попадает на чувствительную площадку фотоэлектрического приемника 5. Перестраивая волноЕые числа используемого по анализатору спектра, входящему в состав источника 1 9птического излучения - лазера, фиксируют их значения, соответствующие появлению максимумов на индикаторе 6. Напиример, если при изменении оптического излучения по волновым числам со-. седним максимумам на индикаторе 6, на- пример на экране осциллографа, будут соответствовать волновые числа 0 941см иЛ),., - 987 см , то по формуле (1) оптическая дпина d ,09.10 см. Произведенный сравнительный техникоэкономический анализ показал, что точность измерений по предлагаемому способу повышается в 600 раз при работе в видимой области спектра и в 40 раз в инфракрасной области. При этом динамический диапазон измеряемых оптических длин в 5 раз больше, чем в известном способе. Кроме того, проведение измерений по описываемому способу более удобно, так как не требует поворота контро- пируемых поверхностей. Ф о J} мула изобрет е н..И:„д Бесконтактный способ определения оптический длины между двумя полупрозрачными параллельными поверхностями, заключающийся в том, что облучают контролируемые поверхности оптическим излучением, получают интерференционную картину, анализируя которую, судят об оптической длине, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона определяемых оптических длин, облучают контролируемые поверхности изменяемым по волновым числам оптическим излучением, фиксиру1от волновые числа, соответствующие максимумам интерференционной картины в проходящем свете, а оптическую длину определяют по формуле: d- 2()) 114-Л d - определяемая оптическая длина, см; .тах .mqn i -14-1 волновые числа, соответствующие максимумам интерференционной картины в проходящем свете 4-го и ( 1 +1)-4о порядков, см. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Патент Великобритании № 1337273, кп. G 01 В 19/О4, 1973. 2.Сустина П. Е., Породнова Б. Т. и Рафикова М, В. Измерение малых расстояний между двумя плоскопараллельными полупрозрачными пластинами. Приборы и технические эксперименты , 1969, № 2, с. 188-189 (прототип).