Сканирующий интерферометр Советский патент 1981 года по МПК G01B9/02 

(54) СКАНИРУЮЩИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР

Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к интерференционным приборам, и мо жет быть использовано в качестве сканирующего интерферометра ФабриПеро. Известен сканирующий интерферометр, содержащий неподвижное зеркал и подвижное зеркало, установленное на упругом элементе, связанном со средством перемещения - приводом Ц Однако этот интерферометр позволяет обеспечитьлишь малые перемещения рабочих элементов интерферометра, с высокой линейностью и чувствительностью и имеет малую устойчивость к вибрациям в направлении, перпендикулярном к плоскости кручен Кроме того, при сканировании .происходит смещение подвижного зеркала в плоскости отражающей поверхности, что вносит дополнительные ошибки в измерения. , Наиболее близким к предлагаемому является сканирующий интерферометр, содержащий два параллельных зеркала одно из которых неподвижно, основан расположенные на нем упругий цилиндрический элемент, на торце которого установлено другое зеркало, и привод. Интерферометр содержит также фланец, соединенный с одним концом упругого гофрированного цилиндра с продольными гофрами, другой конец гофрированного цилиндра жестко закреплен. Фланец с зеркалом связан с приводом 2. Недостатком этого интерферометра является то, что при передаче крутящего момента от привода на упругий гофрированный цилиндр с помощью элементов, например тросика, на подвижное зеркало передаются -несимметричные и переменные дополнительные вредные силы, действующие в радиальном направлении и возникающие вследствие неточностей изготовления.элементов привода. Вредные силы вызывают вибрации подвижного зеркала, нарушают параллельность зеркал и линейность сканирования, что приво,цит в конечном итоге к снижению точности сканирования. Цель изобретения - повышение точности сканирования. Поставленная цель достигается тем, что интерферометр снабжен сильфоном, установленным соосно с упругим цилиндрическим элементом, один конец которого связан с основанием