Пьезокерамический датчик перемещений Советский патент 1981 года по МПК H01L41/08 H04R17/00 

йнешней поверхности пластины А и В имеют углубления - ячейки 3. Вся внешняя поверхность пластины, включая и поверхность ячеек, покрыта электродом 2. Пластины А и В отполяризованы по толщине (направление вектора поляризации в них показано стрелками).

Ячейки на пьезокерамические пластины можно наносить методом фотолитографического травления. Перед травлением пластины покрывают слоем фоторезиста, на который с помощью фотошаблона наносят изображения ячеек. Глубина, диаметр и плотность ячеек выбираются в зависимости от заданной механической прочности и чувствительности к изгибу. Электроды наносят на поверхности пластин, например, методом вжигания серебряной пасты.

Предлагаемый пьезокерамический датчик перемещений обеспечивает более высокую чувствительность при повышенной механической прочности.

Формула изобретения

Пьезокерамический датчик перемещений, содержащий две пьезокерамические пластины, поляризованные по толщине, с нанесенными на их поверхности электродами, жестко соединенные по общей плоскости в единый биморф, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности к изгибу и увеличения механической прочности, на пьезокерамических пластинах со стороны внещних электродов сформированы ячейки, при этом внешние электроды покрывают поверхность пластины и ячеек. Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

1.С. В. Sawyer. Puoc IRE, v. 19, XI, 1931, p. 2019-2020.

2.Глозман И. Н. Пьезокерамика. М., 1967, с. 141-142 (прототип).