Плазменный течеискатель Советский патент 1981 года по МПК G01M3/40 H01J9/42 

(54) ПЛАЗМЕННЫЙ ТЕЧЕИСКАТЕЛЬ

изобретение относится к вакуумной технике, в частности к приборам для обнаружения вакуумных течей, и предназначено для контроля герметичности электровакуумных приборов (ЭВП) малых размеров.

Известен течеискатель, принцип действия которого основан на изменении скорости рекомбинации плазмы газо&ого разряда в зависимости от концентрации молекул электроотрицательного газа l.

Известен также плазменный течеискатель, содержащий натекатель и газоразрядную трубку, соединенные с откачной системой, высокочастотный генератор, подключённый к системе электродов, расположенных на оболочке газоразрядной трубки. В газоразрядной трубке данного прибора с помощью откачной система, откачивающей поступающий из натекателя воздух, поддерживается давление на уровне нескольких торр, что создает условия дпя возникновения газового разряда при подаче на электроды высокочастотного напряжения 2,

Образование газоразрядной плазмы вызывает изменение парс1метров межэлектродного зазора, приводящее к

срыву высокочастотной генерации и погасанию разряда. Возобновление генерации становится возможным после распада плазмы в результате рекомбинации носителей заряда. Процесс воэобновле-ния и срыва высокочастот Юй генерации носит периодический характер. Частота процесса фиксируется регистрирующим прибором. Попадание в зону разряда

0 электроотрицательного газа, которым предварительно заполняют контролируемый вакуумный прибор, приводит к увеличению скорости рекомбинации плазмы и, следовательно, к увеличению

5 частоты указанного процесса. Данный течеискатель предназначен для поиска местонахождения стационарных течей и не позволяет ввиду трудоемкости процесса быстро удостовериться в

0 герметичности прибора в целом. Кроме того, чувствительность такого течеискателя невелика, так как в зону разряда попадает только часть молекул электроотрицательного газа, поступаю5щих из контролируемого прибора в атмосферу.

Цель изобретения - повышение чувствительности течеискателя и контроль интегральной герметичности электровакуумных приборов, исключение влияния емкости электровакуумного прибора на емкость межэлектродного зазора .

Поставленная цель достигается тем« что в плазменном течеискателе, содержащем натекатель и газоразрядную трубку, соединенные с откачной системой, высокочастотный генератор подключенный к системе электродов, расположенных на оболочке газораз.рядной трубки, между .натекателем и газоразрядной трубкой расположена герметичная полость, предназначенная для размещения электровакуумного прибора.

Кроме того, с целью исключения влияния емкости электровакуумного прибора на .емкость межэлектродного зазора S плазменном течеискателе расстояние меяоду герметичной полостью и электродами превышает удвоенный зазор между электродами.

На чертеже представлена схема течеискатеЛя.

Течеискатель содержит натекатель 1, газоразрядную трубку 2, высомо 1астотный генератор 3, регистрирующи прибор 4 и откачную систему 5. На стенках газоразрядной трубки, выполненной из стекла, размещены электроды 6. Между натекателем и згазоразрядной трубкой располоя ена герметичная полость 7, .предназначенная для установки ЭВП 8. Расстояние между герметичной полостью и электродами газоразрядной трубки превышает удвоенный зазор а меаду электродд.ми.« : Перед началом испытаний ЭВП на герметичность теченскатель капибру т по чистому воздуху. Затем ЭВП 8, заполненный контрол ым Ьазом, размещают в полости 7, производят откачку внутренних объемов течеискателя и подают высокочастотное напряЖение на электроды 6.

В случае негерметичности ЭВП практически все молекулы электроотрицательного газа, выделившиеся из объема ЭВП, поступают в зону разря да, что приводит к увеличению скорости рекомбинации плазмы и повышению частоты периодического процесса срыва и возобновления высокочастотной генерации. Изменение сигнала, фиксируемого регистрирующим прибором, по сравнению с калиброванным сигналом свидетельствует о негерметичности ЭВП.

Применение данного течеискателя позволяет повысить чувствительность контроля герметичности ЭВП малых размеров 117 - мкм.рт.ст./с, значительно увеличить надежность контроля и существенно сократить время испытаний.

Формула изобретения

электродами.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

2. Авторское свидетельство СССР по заявке 264693/25-28, кл. G 01 N 27/62, 1972 (прототип).