Ультразвуковой способ контроляКАчЕСТВА МНОгОСлОйНыХ издЕлий Советский патент 1981 года по МПК G01N29/04 

Изобретение относится к неразрушанадим испытаниям и может быть испо эовано для контроля качества полупроводниковых приборов и интегральн микросхем. Известен способ контроля шероховатости поверхности изделий, заключающийся в том, что на контролируем поверхность устанавливают преобразо ватель, возбуждают его радиоимпульсами и определяют резонансную частоту преобразователя до получения максимального значения амплитуда их ;огибающей 11., Недостатком известного способа является низкая точность контроля, так как контроль ведут на низких резонансных частотах. Наиболее близкий к предлагаемому ультразвуковой спосрб контроля качества многослойных изделий заключается в то, что в изделии возбуждают поверхностные волны различных частот, принимают прошедшие через . изделие колебания, измеряют информатившдй их параметр и по его произ водной судят о качестве изделий 2 Недостатком данного способа также являетс.я низкая точность контроля, ,так как на точность определени минимального значения производной ёмплитудно-частотной характеристики поверхностных волн оказывает влияние; невоспроизводимрсть качества акустических контактов между поверхностью образца и преобразователями. Цель изобретения - повышение точности контроля. Поставленная цель достигается тем, что за информативный параметр принимают коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн. На фиг. 1 представлена блок-схема устройства, реашизуювдего способ; I на фиг, 2 - график зависимости коэффициента от частоты. Устройство содержит генератор 1 электрических колебаний, модулятор 2, излучающий преобразователь З; приемный преобразователь 4, усилитель 5,. измеритель 6 нелинейных искажений, индикатор 7 и дифференци1рующий блок 8. Способ осуществляется следующим :Образом. С помощью генератора 1 электрических колебаний возбуждают в образце поверхностные волны различных .частот, С помо1фью приемного преобразователя 4 осу кествляют прием этих волн. Электрические колебания с выхода преобразователя поступают через усилитель 5 на измеритель б нелинейнМх искажений. Используемый в качестве информативного параметра коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн шлчисляется по формуле 15:4«2Л где амплитудное значение первой гармоники поверхностной волны; А. - амплитудное значение i гармоники. . .Сигнал, пропорциональный коэффициенту К, подается на один вход индикатора 7, на другой вход которо поступает сигнал, пропорциональный К с выхода дифференцирующего блока 8, где К - производная коэффициент нелинейных искажений . С модулятора 2 осуществл ется изменение частоты выходного напряжения генератора I. Предлагаемый способ позволяет повысить точность контроля многослойных изделий. Формула изобретения Ультразвуковой способ контроля качества многослойных изделий, заключакицийся в том, что в изделии возбуждают поверхностные волны различных частот, принимают прошедшие через изделие колебания, изл1еряют информативный их параметр и по его производной судят р качестве издели о т л ич ающи йс я тем, что, с целью повыцгения точности контроля, за информативный па аметрч.принимают коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1..Авторское свидетельство СССР № 418791, КЛ. G 01 N 29/04, 1973. 2.Авторское свидетельство СССР W 658468, КЛ. G 01 N 29/04, 1977 (прототип )

KI

Кз

К,