Способ измерения поверхностногоСОпРОТиВлЕНия фОТОКАТОдА Советский патент 1981 года по МПК H01J40/06 H01J31/50 

1

Изобретение отрюсится к электрическим измерениям поверхностного сопротивления тонких пленок, используемых в качестве полупрозрачных фотокатодов элекронно-оптических преобразователей (ЭОП) с прямым переносом изобра кения.

Известен способ измерения сопротивления тонкого электропроводящего слоя на диэлектрической основе с помощью емкостного датчика, входящего в колебательный контур генератораJl При изменении величины измеряемого сопротивления изменяются активные потери в контуре, а следовательно, амплитуда и частота собственных коле баний.

Однако такой способ не может быть использован для измерения поверхностного сопротивления фотокатодной пленки непосредственно в изготовленных ЭОП с прямым переносом изображения из-за невозможности приближения измерительного датчика на необходимое

расстояние к фотокатодной пленке и паразитного влияния алюминиевого по- крытия люминофора.

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является способ измерения поверхностного сопротивления .фотокатода, заключающийся в измерении тока, протекающего по пленке фотокатода при создании разности потенциалов на поверхности пленки 2l.

Недостаток известного способа состоит в том, что измерение проводится на специально изготбвленной структуре, которая в дальнейшем улсе не может быть использована в качестве фотокатода.

Цель изобретения - определение динамического диапазона ЭОП с прямым переносом изображешгя.

Поставленная цель достигается тем, что в способе измерения-поверхностного сопротивления фотокатода, заключающемся в измерении тока, протекающего по пленке фотокатода при создании разности потенциалов на поверхности. пленки, регистрируют выходной электрический сигнал от сфокусированного, направленного в центр фотокатода, промодулированного по амплитуде луча света, затем равномерно освещают фоточувствительную область фо- токатода, увеличивают интенсивность равномерной освещенности фотокатода до исчезновения выходного электрического сигнала от промодулированного по амплитуде и направленного в центр фотокатода луча света, после чего измеряют полный постоянный ток прибора, а поверхностное сопротивление вычисляют по формуле p. . l:)o5/ J где р - поверхностное сопротивление фотокатода; и - напряжение, приложенное к прибору; Зф постоянный фототок прибоJg.- ТОК прибора , ограниченный объемным зарядом при отсутствии перепада напряжени вдоль фотокатода и приложен ном напряжении U. На чертеже представлена схема устройства для измерения поверхностного сопротивления предлагаемым способом. Устройство содержит электронно- оптический преобразователь 1 с фото катодом 2, источник (лазер) 3 сфокусированного светового потока 4, модулятор 5, источник 6 напряжения, бл 7 регистрации и равномерный по площади фотокатода световой поток 8. Способ измерения поверхностного с противления фотокатода ЭОП с прямым переносом изображения основан на уменьшении напряжения централь ной областью фотокатода и анодомэа сче протекания тока по пленке фотокатода пр ее равномерном освещении .Причем при не которой равномерной освещенности фототок в центральной области прибора ограничивается объемным зарядом. При изменении поверхностного сопр тивления с р для упрощения измерений равномерную засветку фотокатода лучше проводить световыми импульсами с большой скважностью и с частотой модуляции амплитуды, много меньшей частоты модуляции сфокусированного, направленного в центр фотокатода пучка света. Предлагаемый способ определения поверхностного сопротивления фотокатода позволяет определить верхнюю, границу динамического диапазона прибора, зависящую от поверхностного сопротивления в уже изготовленном приборе. Формула изобретения .4. Способ измерения поверхностного сопротивления фотокатода, заключающийся в измерении тока, протекающего по пленке фотокатода при создании разности потенциалов на поверхности пленки, отличающийся тем, что, с целью определения динамического диапазона электронно-оптического преобразователя с прямым переносом изображенияi регистрируют выходной электрический сигнал от сфокусированного, направленного в центр фотокатода, промодулированного по амплитуде лучасвета, затем равномерно освещают фоточувствительную область фотокатода, увеличивают интенсивность равномерной освещенности фотокатода до исчезновения выходного электрического сигнала от промодулированного по амплитуде и направленного в центр фотокатода луча света, после чего измеряют полный постоянный ток прибора, а поверхностное сопротивление вычисляют по формуле . р Зф W31 гсповерхностное сопротивление где у фотокатода; напряжемте, приложенное к прибору; постоянный фототок прибора; Зцг - ток прибора, ограниченный объемным зарядом при отсутствии перепада напряжения вдоль фотокатода и приложенном напряжений 0. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 467300, кл. (5 01 Я 1975. 2,Вутслов М. М. и др. Некоторые вопросы стабильности работы электронно-оптических преобразователей.- Электронная техника, сер. Электроннолучевые и фотоэлектронные приборы, 1968, вып 5, с. 236-245 (прототип).

КОСЩ1Лih

логро ру