Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1981 года по МПК F04D19/04 

(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНБШ НАСОС

I

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками и установленный по оси корпуса ротор, снабженный роторными дисками с рабочими лопатками, образующими межлопаточные каналы 1.

Однако в таком насосе имеет место малая быстроходность, -ограниченная прочность материала диска.

Цель изобретения - повышение производительности путем увеличения допустимой частоты вращения ротора.

Указанная цель достигается тем, что рабочие лопатки выполнены в виде ребер с пересечением плоскостей последних на оси ротора, причем щирина рабочих лопаток в 4-5 раз больше максимальной ширины межлопаточных каналов.

На чертеже изображен насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками 2 и установленный по оси корпуса 1 ротор 3,

снабженный роторными дисками 4 с рабочими лопатками 5, образующими межлопаточные каналы. Рабочие лопатки 5 выполнены в виде ребер с пересечением плоскостей последних на оси ротора 3, причем ширина в рабочих лопаток 5 в 4-5 раз больше максимальной ширины В межлопаточных каналов.

При вращении ротора 3 молекулы остаточного газа, взаимодействуя с рабочими лопатками 5 ротора 3 и статорными дисками 2 переходят на сторону низкого ваку1вума.

Предлагаемая конструкция повышает быстроходность турбомолекулярных насосов и быстроту откачки.

15

Формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с укрепленными на его

20 внутренней поверхности статорными дисками и установленный по оси корпуса ротор, снабженный роторными дисками с рабочими лопатками, образующими межлопаточные

каналы, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности путем увеличения допустимой частоты ращения ротора, рабочие лопатки выполнены в виде ребер с пересечением плоскостей последних на оси ротора, причем ширина рабочих лопаток в 4-5 раз больше максимальной ширины межлопаточных каналов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент Франции № 2097945, кл. F 04 D 19/00, опублик. 1972.