Турбомолекулярный насос Советский патент 1981 года по МПК F04D19/04 

(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуум|Ной технике и касается устройства турбомолекулярных вакуумных насосов Известен турбомолекулярный насос содержсцдий корпус со статорными дисками и ротор с роторными дисками 1 Недостатками этого насоса являются сложность конструкции и высокие требования к точности расположения роторных дисков относительно статорных. Известен также турбомолекулярный насос, содержащий корпус с укрепленн ми на его внутренней поверхности ста торными дисками, в которые встроены магнитные вставки, и установленный по оси корпуса вгш, несущий лопаточные роторные диски, выполненные из магнитного материала 2,J . Недостатками такого насоса являются сложность конструкции и ограниченность рабочего диапазона. Цель изобретения - упрощение конструкции и расширение рабочего диапазона. Это достигается тем, что лопатки роторных дисков выполнены гибкими и имеют одноименные полюса на входных кромках и противоположные им полюса на выходных кромках, а вставки расположены по окружности статорных дисков и выполнены в виде электромагнитов , полюса которых ориентированы вдоль оси корпуса. На фиг. 1 представлен общий вид насоса , на фиг. 2 - роторный диск насоса. Турбомолекулярный насос содержит корпус 1 с yкpeплeннfcн lи на его внутренней поверхности статорными дисками 2, в которые встроены магнитные вставки 3, и установленный по оси корпуса 1 вал 4, несущий лопаточные роторные диски 5, выполненные из магнитного материала, причем лопатки 6 роторных дисков 5 выполнены гибкими и имеют одноименные полюса на входных кромках и противоположные им полюса на выходных кромках, а вставки 3 расположены по окружности статорных дисков 2 и выполнены в виде электромагнитов, полюса которых ориентированы вдоль оси корпуса 1. Насос работает следующим образом. При вращении роторных дисков 5 между статорными дисками 2 с магнитными вставками 3, полюса которых ориентированы вдоль оси корпуса 1, входные кромки лопаток 6 притягиваются к верхнему статорному диску, а выхо ные кромки - к нижнему статорному диску. Таким образом, каждая лопатка б роторного диска 5 изгибается, образуя межлопаточный канал. Благодаря магнитным вставкам 3, выполненным в виде электромагнитов, можно обеспечить переменный угол на |лона лопаток б в зависимости от ус ловий откачки, что ведет к расширению рабочего диапазона насоса. Формула, изобретения Турбомолекулярный насос, содержащий корпус с укрепленными на его внутренней поверхности статорными д ками, в которые встроены магнитные вставки, и установленный по оси кор пуса вал, несущий лопаточные роторные диски, выполненные из магнитного материала, отличающийс я тем, что, с целью упрощения конструкции и расширения рабочего диапазона, лопатки роторных дисков выполнены гибкими и имеют одноименные полюса на входных кромках и противополо}: ные им полюса на выходных кромках, а вставки расположены по окружности статорных дисков и выполнены в виде электромагнитов, полюса которых ориентированы вдоль оси корпуса. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Патент Франции № 2246756, кл. F О 19/04, опублик. 1975. 2.Авторское свидетельство СССР по заявке № 2503389/25-06, кл. F Oi О 19/04, 1977.