Вакуумная установка Советский патент 1981 года по МПК F04B37/02 

1

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известна вакуумная установка, содержашая вакуумную камеру, криогенный насос и размещенный между ними палладиевый насос, откачные элементы которого выполнены в виде трубок 1J.

Такое расположение элементов известной вакуумной установки при.водит к повышенному расходу хладагента при откачке больших количеств водорода и его изотопов, что снижает экономичность всей установки.

Цель изобретения - повышение экономичности.

.Указанная цель достигается тем,что палладиевый насос снабжен двумя диафрагмами, образующими замкнутую полость, и торцы трубок вакуумноплотно соединены с последним.

На фиг. 1 изображена предлагаемая установка, продольный разрез-на фиг. 2 - откачивающие элементы палладиевого насоса.

Вакуумная установка содержит вакуумную камеру 1, криогенный насос 2 и размещенный между ними палладиевый насос 3, откачные элементы которого выполнены в виде трубок 4. Палладиевый насос 3 снабжен двумя диафрагмами 5 и 6, образукшдими замкнутую полость, и торцы трубок 4 вакуумноплотно соединены с последними.

Установка работает следуквдим образом.

Откачиваемый газ из вакуумной камеры 1 попадает на внутреннюю поверхность папладиевых трубок 4. Водород и его изотопы откачиваются путем диф10фузии через палладий и химическим связыванием кислородом на обратной стороне поверхности трубок 4.

Поскольку в вакуумной установке весь откачиваемый газ, прежде, чем 5 попасть на откачивающею поверхность криогенного насоса, проходит через откачной элемент палладиевого насоса, практически весь водород откачивается палладиевым насосом и в криоген20ный насос поступают лишь легкоконденсируемые газы, теплопроводность которых в несколько раз ниже, чем у водорода. Поэтому расход хладагента в предлагаемой вакуумной установке

25 по сравнению с известными существенно уменьшается.

Формула изобретения Вакуумная установка, содержащая 30 вакуумную камеру, криогенный насос