Насос для откачки водорода Советский патент 1982 года по МПК F04B37/14 

(54) НАСОС ДЛЯ ОТКАЧКИ ВбДОРОДА

1

Изобретение относится к вакуумной технике, точнее к безмаспяным средствам откачки изотопов водорода, и может применяться в различных- устройствах и процессах, требующих удаления водорода.

Известен насос для откачки водорода, содержащий мембрану из палладия или его сплавов, одна сторона которой обращена в откачиваемый объем, а аругая - в окружающую атмосферу (воздух), обеспечивающую химическое связывание водорода. Насос снабжен также нагревателем, позволяющим нагреть мембрану до 600 С

и более 11

Недостатком данного насоса является невысокая удельная быстрота откачки и большое время достижения предельного вакуума.

По основному авт. ев, № 653425 известен насос для откачки водорода, содержащий корпус с патрубком для подвода откачиваемого глза и прогреваемую диафрагму, вьшолненную в виде закрепленньщ

на корпусе труб из материала с высокой проницаемостью по водороду, преимущес венно палладия

Недостатком известного насоса является большое время достижения предель-него вакуума, так как при включении насоса происходит десорбция сорбированных мембраной молекул газа в откачиваемый объем.

Цель изобретения - сокращение откач10ки.

Указанная цель достигается тем, что . в известном насосе в нижней части труб размещен нераспыляемый геттер.

Между патрубком и трубами установлен вакуумный клапан.

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Насос содержит корпус 1 с патрубком

20 2 для подвода откачиваемого газа. К корпусу 1 прикреплена палладиевая диафраг« ма, выполненная в виде труб 3. Трубы 3 закреплещл на корпусе 1. так, что их по3 96422 пость сообщена с патрубком 2. В нижней части труб 3, размещен нераспыпяемый « геттер ( - 16% 8 ) 4. Снаружи труб 3 равиопожен эп1ентфический нагреватель 5, который служит для поддержа-5 ния рабочей температуры диафрагмы и нагреватель 6 для поддержания рабочей температуры и регенерации геттера 4. Между диафрагмой и патрубком 2 распо- ложен вакуумный клапан 7. Температуры10 диафрагмы и геттера контролируются хромель-копелевыми термопарами 8 с измерителем 9. Hacod рабэтает следующим образом. После подсоединения к откачиваемому 5 объему с некоторым парциальным давлением водорода при закрьттом клапане 7 нагревают диафрагму и геттер 4 до 500-, и 300 - 4ОО°С соответственно. Поскольку полость труб 3 изолирована20 от вакуумного объема при помощи клапана 7, весь десорбируемый во время грева до рабочей, темпера туры диафрагмы; газ находится внутри труб 3 и откачивается геттером 4, температУ1)а которогоjs при помощи автономного нагревателя 6 поддерживается оптимальной (35О С). Количество геттера 4 подбирается из того расчета, чтобы его быстрота откачки была достаточной для откачки десорбирующегося газа, и определяется в кладом конкретном случае геометрическими размерами и режимом работы вакуумной 74 системы/После достижения рабочей темпера туры диафрагмы (50О - 7ОО С в эависимости от требуемой быстроты откачки) открьюают клапан 7. Водород, находящийся в вакуумном объеме, проникает через нагретый палладий и химически связывае1 ся кислородом на. обратной стороне диафрагмы, образуя воду. .Таким образом, поскольку в предлагаемом насосе десорбированный во время разогрева газ не поступает в о-псачиваемый объем, а откачивается расположенным в нижнем кольцевом участке полости труб геттером время достижения предельного вакуума существенно уменьщается. . Формула изобретений Насос для откачки водорода по авт. св. № 653425, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени откачки, в нижней части труб размещен нераспыляемый геттер, 2. Насос по п. 1, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что между патрубком и трубами установлен вакуумный клапан. Источники информации, приняй.ю во внимание при экспертизе 1, Патент Великобритании N9 9504О5, кл.. PIN , опублик. 1961. 2. Авторское свидетельство СССР № 653425, кл. f 04 В 37/14, 1979.