Проекционное устройство для черченияСВЕТОВыМ лучОМ Советский патент 1981 года по МПК G03B21/00 G02B27/20 

(54) ПРОЕКЦИОННОЕ УСТЮЙСТВО ДЛЯ ЧЕРЧЕНИЯ СВЕТОВЫМ ЛУЧОМ

Изобретение относится к устройствам для нанесения изображения на светочувствительную поверхность и может быть использовано в коордгоштографах, например, для автоматическо го вычерчивания фотошаблонов плат печатного монтажа и гибридных микросхем. Известны проекционные устройства для черчения световым лучом, в которых форма элементов изображения создается изменением фор мы сечения луча. Такие устройства содержат источник света, конденсор, проекционный объектив. Между конденсором и объективом располагается диск или пластина с некоторым Количеством прозрачных зон-диафрагм заданной формы 1. Такие конструкции проекционных устройств для черчения световых лучом имеют огран чениый набор злементов изображения, что снижае технологические возможности светового черчения, особенно при изготовленни фотошаблонов со сложной топологией. Применение CMeifflbK дисков или пластин усложняет конструкцию и снижает надежность работы. Наиболее близким по технической сущности к предложенному является проекциошгое устройство для черчения световым .лучом, содержащее источник света, конденсор, проекционный объектив и расположенную между конденсором и объективом прямоугольную диафрагму с механизмами изменения размеров и поворота вокруг оптической оси. Помимо элементов изображения прямоугольной формы зто устройство может воспроизводить круглые элементы, когда экспонирование и поворот диафрагмы вокруг оси происходят одновременно (2. При зтом того, что форма диафрагмы всегда остается прямоугольной, возникает неравномерная засветка круглых злементов изображения с максимумом в центре и минимумом на краях. Другой недостаток известного устройства - иевозможносл получения элементов изображения круглой формы с незас ечеиным центром (с оптическим кериом)Целью изобретения является расширение функциональных возможностей и повышение равномерности засветки злементов изображения круглой формы.

Указанная цель достигается тем, что устройство, содержащее осветитель, проекционный объектив, расположенную между ними диафрагму в виде поворачивающегося вокруг оптической оси корпуса с прямоугольным отверстием для формирования сечения луча и размещенны в корпусе механизм изменения размеров сечгния луча, снабжено заслонкой, установленной в корпусе с возможностыр перемещения вдоль оси симметрии прямоугольного отверстия до пер срыгая его центральн1 й зогш.

Заслонка выполнена со скосами от цштра к краям; в устройство злектромагнит, связанный с заслонкой.

На фиг. 1 показан обишй вид устройства; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1.

Проекдаонное устройство для черчения световым лучом имеет источник света 1, конденсорные линзы 2, проекционный объектив 3. Прямоугольная диафрагма, задающая форму сечения луча, образована прямоугольным отверстием а в корпусе 4 и подвижными шторками 5. Заслонка 6 вводится в зону прямоугольного отверстия электромагнитом 7, занимая положение, показанное на фиг. 2. При отключенном электромагните 7 подвижная заслонка 6 находится вне зоны прямоугольного отверстия а, занимая положение, показанное игтрих-пунктирной линией.

Шторки 5 снабжены гауками 8, сквозь которые проходят ходовой BiojT 9 и направляющая 10. Ходовой винт 9 вращается шаговым двигателем 11.

С корпусом 4 жестко связано круглое основание 12, центр которого находится на оптической осн. Основание 12 имеет подвижное соединение с несущей платой 13 посредством опоры качения 14. Наружный край основания 12 BXCWIT в зацепление с шестерней 15, находящейся на валу I) шагового двигателя 17. Снаружи устройспю закрыто разборным кожухом 18.

Проекционное устройств э для черчения световым лучом работает следующнм образом.

Когда включен источник света 1 и отключен электромагнит 7, проекционный объектив 3 проектирует на светочувс1вительн)то пов хность (не показана) изо ажение прямоугольного отверстия а, ограииченного с двух сторон илгорками 5. При этом зкспсжируется прямо угольный злемент изображе1шя. Размер элемента изображения можно измтятъ поворотом вала (не показан) uiaroBorci двигателя II. Угловое положение прямоугольного элемента нзображення определяется положением вала 16 ивгового двигателя 17. Вычерчивание линий осуществляется на координатографах перемещением проекционного устройства относительно светочувствителыюй поверхности. Ширина лиНИИ задается поворотом вала шагового двигателя 11, в местах излома ттт задается новое угловое положение прямоугольной дна- фрагмы посредством шагового двигателя 17.

Экспонировагше круглых элементов изображения осуществляется вращением корпуса 4 вокруг оптической оси шаговым двигателем 17 При включенном электромагните 7. Под дс, ствием злфтромагнита 7 заслонка 6 входит в зону прямоугольного огверстня. Часть светового потока в том числе зона вокруг оптической оси, перекрывается заслонкой 6. Заслонка выполнена со скосами, поэтому сечение светового

потока )еличивается от центра к краям. За счет этого выравнивается время экспозиции точек, находящихся в центре и на периферии круглого элемента изображения. Центр круглого элемента изображения сказывается незасвеченным вследствие перекрытия центральной части светового потока. Этим обеспечивается оптическое керление круглых элементов изоб-ражения. Наиболее полно преимущества пред/ згаемого проекционного устройства проявляются при вычерчивании фотошаблонов на коордииатографах с программным управлением. Улучшается качество фотошаблонов.

Формула изобретения

отверстия до перекрытия его центральной зоны.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

Фиг.1

12

Фаг. г