Устройство для фокусировки Советский патент 1981 года по МПК G03B3/00 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ Изобретение относится к проекционной фотолитографии и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем. Известно проекционное устройство с автоматической фокусировкой, в ко тором для фоЕ)Мирования разностного сигнала .фокусировки используется вращающийся двухтолшинный прозрачны диск, сканирующий по глубине изобра жения штрихового растра, которое строится вблизи плоскости изображен проекционного объектива {). Однако при фокусировании непреры но перемещающейся подложки быстродействие ограничивается относительно невысокой скоростью вращения диск , Известно устройство для фокусиров ки, содержащее источник линейно-поля ризованного света, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив фотоприемник и плоскопараллельную пластину из оптически одноосного кристалла с оптической осью, параллельной плоскости пластины 2. Однако известное устройство имеет недостаточную точность. . . Цель изобретения - повьлиениё точности фокусировки и упрощение конструкции устройства. Указанная цель достигается тем, что в устройство дополнительно введен переключатель поляризации, имекадий исходное направление вектора поляризации параллельное или перпендикулярное оптической оси плоскопараллельной пластины и расположенный между источником линейно поляризованного света и штриховым растром. На чертеже представлена схема устройства. Устройство для фокусировки содержит источник 1 линейно-поляризованного света, переключатель 2 поляризации, светоделитель 3, штриховой растр 4 плоскопараллельную пластину из одноосного кристалла 5, объектив б, подложку 7, коллектив 8 и фотоприемник 9. Устройство работает следующим образом. Свет от источника 1, пройдя пе$ включатель 2 поляризации, меняет направление вектора поляризации на 90, если переключатель включен, сохраняет его направление, или не включен. Оптическая ось плоскопараллельной пластины из одноосного кристалла 5 ориентирована так, что она лежит в плоскости пластины и параллельна или перпендикулярна исходному направлению вектора поляризации света.Поэтому в зависимости от положения вектора поляризации света через кристаллическую пластину 5 будут распространяться обыкновенная волна о (вектор поляризации света перпендикулярен оптической оси кристалла), или необыкновенная волна е (вектор поляризации света параллелен оптической оси кристалла). Соответственно, растр 4 изображается поочередно объективом б в двух положениях, разнесенных по глубине, вблизи плоскости изображения объектива. Мтриховой растр 4 устанавливают так, что в случае идеальной фокусировки его автоколлимационные изображения 10 при одном направлении вектора поляризации и 11 - при другом положении находятся на одинаковом расстоянии и по разные стороны от него самого. Отраженный от подложки 7 световой поток светоделителем 3 и коллективом 8 направляется на фотоприемник 9, с которого снимается разностный сигнал дефокусировки. Если подложка 7 дефокусирована в ту или другую сторону, то в одном случае больше сигнал, соответствующий о-волне, а в другом случае больше сигнал, соответствунлций е-волне. В положении идеальной фокусировки разностный сигнал переменной составляющей не имеет.

J

Предлагаемое устройство позволяет работать с переменным разностным сигналом высокой частоты и использовать одноплрщадочный фотоприемник. Это в несколько раз повышает точность фокусировки.

Формула изобретения

Устройство для фокусировки, содержащее источник линейно-поляризованного света, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив, фотоприемник и плоскопараллельную пластину из оптически одноосного кристалла с оптической осью, параллельной плоскости пластины, отличающеес я тем, что, с целью повышения точности фокусировки и упрощения конструкции, в него введен переключатель поляризации, имеющий исходное направление вектора поляризации параллельное или перпендикулярное оптической оси плоскопараллельной пластины и расположенный между источником линейно-поляризованного света и штриховым растром.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

0 1. Авторское свидетельство СССР № 406182, кл. G 03 В 3/00, 27.12.71.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке 2656481/18-10, кл. G 03 G 3/00, 17.08.78 (прототип).

10 f 11 6