Держатель для полупроводниковых пластин Советский патент 1981 года по МПК H01L21/00 

(54) ДЕРЖАТЕЛЬ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

Изобретение относится к технопсгичес кому оборудованию для проиэвоаства попупровопниковых приборе и может быть использовано для закрепления полупроводниксжых пластин в процессах эпигаксии, плазмохимичэского осаждения слоев полупроводника и фотолитографии. Наиболее близким к преолагаемому является держатель цля по;5проводнгковых пластин, содержащий основание и прижимные элементы, выполненные в виде упругих пластин, жестко закрепленных на основании одним котцом ij. Недостатком данного держателя при закреплении полупроводаиковых пластин являются трудоемкая загрузка- ыгрузка, и невозможность обработки при больивм числе обрабатываемых попупр жодниковых пластин. Пеяь изобретения - удобство эксплуатации. Цель достигается тем, что в держател для подупрововдиковых пластин, содержащем основание и прижимные элементы в полненные в виде упругих пластин, жестко закрепленных на основании одним концом, основание снабжено штырями, каждый из которых размещен в отверстии, выполненном в основании, с возможностью взаимодействия с незакрепленным концом упругой пластины. На г, 1 .изображен пгржатель для полупроводниковых пластин, вид сверху на фиг. 2 - разрез Л-А на фиг. 1; на фиг. 3 варианты исполнения; на фиг. 4 - разрез Б-Б на 4иг. I; на 4иг.5 - варианты исполнения. На основании 1 закреплены прижимные элементы в виде упругих пластин 2; под ними в основании I выполнены отверстия, в которых расположены штыри 3 и 4. Упругие пластины 2 жестко закреплены на основании одним концом. Загрузка держателя прсисходит следующим образом. Основание 1 располагают на плоскости поверхностью, СБобэдаой от прижимных элементов (при варианте исполнения Лиг,

3 необходим шаблсм с вьгсгупамй). При этом вьгступающие из основания I штыри 3 и 4 утапливаются и верхним концом поднимают упругие пластины 2. Далее легко всгавлятотся полупроводниковые пластины 5 до упора в штыри 3, чем обеспечивается захват пластин 5 упругими пластинами 2. Затем держатель поднимается с плоскости, штьфи,3 и 4 утапливаются и упругие пластины 2 прижимают пластины 5. Теперь держатель готов к работе . J Выгрузка пластин 5 происходит аналогично. Это у продает загрузку и выгрузку П7ЮСТИН, следовательно, повышает производительность процесса.

Формула изобретения Держатель для полупроводниковых

пластин, содержащий основание и прижимные элементы, вьщолненные в виде упру гих пластин, жестко закрепленных на основании одаим концом, отличающийся тем, что, с целью удобства эксплуатации, основание снабжено штьфя ми, каждый из которых размещен в отверстии, выполненном в основании, с возможностью взаимодействия с незакрепленным концом упругой пластины.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР N9 561236, кл. Н OIL, 21/68, 1975 (прототип).