Электрохромная структура Советский патент 1981 года по МПК G02F1/17 

1

Изобретение относится к области электронной техники и может быть ис пользовано при создании твердотельных преобразователей изображения.

Известны электрохромные структуры, образованные прозрачными диэлектрическими пластинами, у которых на обращенных друг к другу сторонах нанесен электродный рисунок из прозрачных проводящих пленок оксида индия, и содержащие электроокрашиваемый и вспомогательный слои .

Такие структуры облгщают малым сроком службы и высокой инерционностью (время переключения в пределах 0,2-0,6 с).

Наиболее близким техническим решением является электрохромная структура, содержащая электроокрашиваемый слой трехокиси вольфрама и вспомогательный слой моноокиси кремния (SiO). Она состоит из обращенных друг к другу прозрачных диэлектрических пластин с нанесенными прозрачными проводящими электродами и рас- . положеннкис между ними электроокраши.ваемрго и вспомогательного слоев 2 J

Недостатком ее является небольшой срок службы, который исчисляется переключениями, nocjie чего

идет электрическое старение окрашиваемого слоя с последующим разрушением в локальной области, а время переключения достигает 0,2 с. Невысокие электрооптические параметры обусловлены тем, что электроокраиииваелФлй слой WO-j не обеспечивает равномерное распределение центров светочувствительности в приповерхностtoном слое.

Целью изобретения является увеличение срока службы электрохромной структуры.

Это достигается тем,что в элект15рохромной структуре, состоящей из обращенных друг к другу прозрачных диэлектрических пластин с нанесенны ми прозрачными проводящими .электродами и расположенными между ними

20 слоями трехокиси вольфрама и моноокйси кремния, соответственно введены слои восстановленной окиси воЛьфрама WOj-x и двуокиси кремния которых 1 X 2, причем слой S1GX

25 непосредственно прилегает к слою SiO, а отношение толщины слоя к слою WOj соответственно составляет 1/15-1/7.

На чертеже представлена предлагае30мая электрохромная структура.

Электрохромная структура содержит стеклянные пластинД 1, проводящие прозрачные электроды 2 из 3 з и слои , WO. 4, ) - 5, SiO -.6.

В слое восстановленной окиси вольфрама равномерно формируются центры окраски из кислородных вакансий, ассоциированных с разными катио1нами, и катионов W, находящихся в |узлах решетки. Это повышает быстродействие и срок службы электрохром-,, ной структуры. Слой SiOy стабилизирует слой W0j и обеспечивает снижение сквозных токов и увеличение электрической прочности электрохромной структуры.

Структура WO, i 0)-5 i О имеет следующие электрооптические параметры: 1 N 8.10, где tT- время переключения. М- общее число циклов переключения. Толщина слоя WO-j-y для этой стр уктуры составляет 0,06 мкм, аСЛОЯ WOj - 0,76 мкм

Использование окра ливаемого W0 и стабилизирующего (Si Ох) слоев выгодно отличает предлагаемую электрохромную структуру, поскольку формируются равномерно распределенные центры окраски. В результате качество

электрооптических пара метров будет улучшено, что .увеличит сферу „ применения электрохромных структур и повысит надежность и стабильность микросхем.

Формула изобретения

Электрохромная структура, состоящая из обращенных друг к другу прог зрачных диэлектрических пластин с нанесенными прозрачными проводящими электродами и расположенных между ними электроокрашиваемого и вспомогательного слоев, отличающаяся тем, что, с целью увеличения срока службы между электроокрашиваемым и вспомогательным слоями последовательно введены пленки восстановленного окисла вольфрама и двуокиси кремния;

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США № 4053209, кл. G 02 F 1/36, 1977.

2.Красов В.Г. Обзор по электронной технике Пленочные диэлектрики

в микроэлектронике. М., ВИНИТИ, 1978, с. 46 (прототип). . ,