Волноводный измерительный преобразователь Советский патент 1981 года по МПК G01N22/00 

Изобретение относится к радиоизме рительной технике. По основному авт.св. № 589571 известен волноводный измерительный преобразователь, содержащий переходной фланец и отрезок волноводногр тракта, на конце которого установлена отражающая поверхность fl3« Однако этот волноводный измерител ный преобразователь не обеспечивает высокую точность. Цель изобретения - повьшение точности. Поставленная цель достигается тем что в волноводном измерительном преобразователе, содержащем переходной фланец и отрезок волноводного тракта на конце которого .установлена отражающая поверхность, на наружной стороне отражающей поверхности симметрично относительно оси отрезка волновод ного тракта выполнен кольцевой паз,соединенньш через отверстия с введенной вакуумной камерой. Кроме того, диамет отверстий не превышает нмрину кольцевого паза. На чертеже приведена конструкция волноводного измерительного преобразователя. Волноводный измерительный преобразователь содержит переходной фланец 1 и отрезок 2 волноводного тракта, на конце которого установлена отражающая поверхность 3, на наружной стороне которой симметрично относительно оси отрезка 2 волноводного тракта выполнен кольцевой паз и отверстия 5, соеданяющие кольцевой паз 4, например, через трубочки 6 с вакуумной камерой 7, при этом диаметр отверстий 5 не превышает ширину кольцевого паза 4. Волноводный измерительный преобразователь работает следующим образом. Исследуемая плоская полупроводниковая структура 8 накладывается на отражающую поверхность 3 волноводного измерительного преобразователя. 38 и в случае полупроводниковой структуры 8 с размерами, превьшающими размеры отражающей поверхности 3, в вакуум ной камере 7 устанавливается разрежение порядка 0,2 атм. Это позволяет проводить измерения электрофизических параметров полупроводниковой структуры 8 при постоянной силе прижатия и устранить влияние непостоянства зазо ров на результаты измерений, возникаю щих в случае некачественной поверхности, HanpHtjifp, загрязнения иди слу 1айного искривления полупроводниковой структуры 8. Предлагаемый волноводный измерительный преобразователь по сравнению с: известным имеет более высокую точность . Формула изобретения , 1. Волноводный измерительный преобразователь по авт.св. № 589571, 1 отличающийся тем, что, с целью повьшения точности, на наружной стороне отражающей поверхности симметрично относительно оси отрезка волноводного тракта выполнен кольцевой паз, соединенный через отверстия с введенной вакуумной камерой. 2. Преобразователь по п.1, отличающийся тем, что диаметр отверстий не превышает щирину кольцевого паза. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 58957Г, кл. G 01 N 23/34, 1977 прототип).

4

в

I /