Способ защиты высоковакуумных систем и устройство для его осуществления Советский патент 1981 года по МПК F04F9/06 

Устройство для защиты зысоковакуумных систем содержит корпус 1 с впускным и выпускным патрубками 2 и 3 и установленный в корпусе 1 резервуар 4 для хладагента с расположенны,м в нем cocyдOiM 5, причем впускной патрубок 2 герметично введен внутрь сосуда 5 через его дно и образует с внутренней поверхностью сосуда 5 кольцевой зазор, а выпускной патрубок 3 расположен тангенциально и герметично соединен с цилиндрической поверхностью сосуда 5 в зоне присоединения к нему впускного патрубка 2. Внутри впускного патрубка 2 с зазором относительно последнего расположена гильза 6 со сферическим отрах ателем 7, присоединенная с тепловым контактом к входному торцу впускпого патрубка 2, а на последнем установлен нагреватель 8, расположенный вне корпуса 1. Внутри выпускного патрубка 3 параллельно его оси установлен ряд тонкостенных перегородок 9, а на внутренней поверхности сосуда 5 в зоне расположения впускного патрубка 2 н перпендикулярно к его оси закреплен ряд тонкостенных шайб 10.

Устройство для защиты высоковакуумных систем работает следующим образом.

Молекулы откачиваемого газа по гильзе 6 поступают на отражатель 7, составляющий едипое целое с гильзой 6 и имеющий температуру окружающей среды или более высокую температуру при включенном нагревателе. 8. Отразивщись от него, молекулы газа поступают в выпускной патрубок 3 и оТ|качиваются насосом.

А1олекулы паров рабочей жидкости диффузионного насоса попадают в выпускной патрубок 3. В этом натрубке, разделенно тонкостенными нерегородками 9 на ряд каналов, молекулам пара задается однонаправленное движение. Поток паров тангенциально поступает в кольцевой зазор между внутренней поверхностью сосуда 5 н впускным патрубком 2. Тонкостенные щайбы 10 препятствуют движению молекул пара вдоль оси сосуда и замедляют движение последннх, что позволяет обеспечить более полную их конденсацию.

Предлагаемый способ защиты высоковакуумных систем от паров рабочей жидкости насосов и устройство для защиты высоковакуумных систем позволяют практически полностью конденсировать пары рабочей жидкости насосов н исключить их попадание в вакуумируемый объем, при этом скорость откачки газов из объема в 1,5-2 раза увеличивается.

Формула изобретения

10

1. Способ защиты высоковакуумных систем от паров рабочей жидкости насосов, включающий разделение потоков откачиваемого газа и паров, охлаждение последних и их конденсацию, отличающийся тем, что с целью цовышения эффективности защиты, поток паров замедляют одновременно с их охлаждением, а поток газов ускоряют перед разделением потоков.

2. Устройство для защиты высоковакуумпых систем, содержащее корпус с впускиым и выпускным патрубками и установленный в корпусе резервуар для хладагента с расположенным в нем сосудом, причем

впускной патрубок герметично введен внутрь сосуда через его дно и образует с внутренней поверхностью сосуда кольцевой зазор, а выпускной расположен тангенциально и герметично соединен с цилиндрической новерхностью сосуда в зоне присоединения к нему впускного патрубка, отличающееся тем, что внутри впускного натрубка с зазором относительно последнего расположена гильза со сферическим отражателем, присоединенная с тепловы.м контактом к входному торцу впускного патрубка, а на последнем установлен нагреватель, расположенный вне корпуса.

3. Устройство по п. 2, отличающеес я тем, что внутри выпускного патрубка параллельно его оси установлен ряд тонкостенных перегородок, а на внутренней поверхности сосуда в зоне расположения впускного патрубка и перпендикулярно к

его оси закреплен ряд тонкостепных шайб.

Источники информации, принятые во вннмание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР по заявке № 2476584/25-06, кл. F 04 F 9/06, 1977.

Гй I р

J4 р

ТА .

Фаг.{

Фuгf,