Высоковакуумная криогенная ловушка Советский патент 1981 года по МПК F04F9/06 F04B37/08 

1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям устройств, нренятствующих проникновению паров рабочих жидкостей высоковакуумных насосов в откачиваемый объем.

Известны высоковакуумные криогенные ловушки, содержащие корпус с соосными входным и выходным патрубками и размеН-1,ениын в нем сосуд для хладагента 1.

Однако известные ловушки имеют невысокую проводимость в молекулярном режиме течения газа и недостаточно эффективные 3auj, свойства.

Целью изобретения является повышение проводимости и улучшение заш,итных свойств.

Указанная цель достигается тем, что сосуд выполнен в виде сильфона, патрубки расположены перпендикулярно оси сильфона, последний имеет внутренний диаметр, превышающий диаметр патрубков. Сильфон с иаружной етороиы имеет покрытие из пористого теплопроводного материала.

На чертеже представлена высоковакуумиая криогенная ловушка, иродольный разрез.

Ловуи ка содержит корпус 1 с соосными в.ходным и выходным патрубками 2 и 3 и размещенный в нем сосуд 4 для хладагента, ппиче.м сосуд 4 выполнен в виде

еильфона, а патрубки 2 н 3 расноложены перпепдикулярно оси сильфона. Кроме того, сильфон имеет внутренний диаметр, превышающий диаметр патрубков 2 и 3,

5 а также с наружной стороны имеет покрытие 5 из пористого теплопроводного материала.

Ловушка работает следующим образом. Откачиваемый газ проходит от входного патрубка 2 к выходному патрубку 3, в то время как нары рабочих жндкостей высоковакуумных насосов проникают к откачиваемому объему Б обратном направлении. Иары рабочих жидкостей, сталкиваясь с поверхиоетью сосуда 4, заполненного хладагентом, конденсирзпотся. Прямой проскок паров рабочих жндкостей невозможен венду того, что внутренний диаметр сильфона превышает диаметр патрубков. Тем самым ловушка в целом препятствует проникновению паров в откачиваемый объем. Пористое покрытие на поверхности сосуда увелнчивает вероятность конденсации паров.

Формула изобретен н я

1. Высоковакуумная криогенная ловушка, содержащая корпус с соосиыми входным и выходным патрубками и размещениый в нем сосуд для хладагента, отличаю ш, и f с я тем, что, с целью повышения проводимости п улучшения защитных свойств, сосуд выполнен в виде сильфона, а патрубки расположены нернендикулярно оси сильфона.

2. Ловушка но п. 1, от л и ч а юш,а я ся тем, что сильфон имеет внутренний диаметр, превышаюш,ий диаметр патрубков.

4

3. Ловушка по п. 1, отличающаяся тем, что сильфон с наружной стороны имеет пок.рытие из пористого теплопроводного материала.

Источиики информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР Яо 590493, кл. F 04 F 9/06, 1975.

дб//а 1 жг/. ffja77ff

Мг ajff/77ff

3(7