Эмиссионное приспособление к магнитному микроскопу марки эм-100 Советский патент 1975 года по МПК H01J37/26 H01J29/64 

Предметом настоящего изобретения янляется нрисппсоблеппе к отечественному электронному мнкроскону аркн ЭМ-100 л.мя наблюдення объектов, эмитирующих электроны.

Известные в (гастоящее элект)онные микроскопы со сверхсветовым увеличением |)абота1от на просвет, т. е. позволяют исследовать объекты, которые сами не эмитируют, а освеп1аются электронами, выходящими из сиециального источника.

Эмиссионные электр()нн1з1е микроско.чы, т. е. микроскопы, позв;/ля1Ощие исследовать объекты, которые са.ми эмитируют э.чектроны (тер.мо н оксидные катоды, фотокатоды,очустнле1 иь с металлические повер.хности) не получили до иастоящего времени должного развития.

П)ичиной этому является низкая разрен1а1ОИ1ая сиособность выи еуказаи.ны.ч MUKJIOCKOHOB, обусловленная болыиим К1зброс;)м скоростей электронов, вылетающих с поверхности объекта под всеми углами полусферы и участвующими в формировании 13ображе 1ия исследуемого объекта.

Путем введения ряда дополненю к супкчтвующей конструкции электронного микроскопа ЭМ-100, согласно изобретению предлагается превратить магнитиый электропиый микроскоп |1росвечиваюи1его тииа м арки ЭМ-100 в эмиссионный электронньп микроскоп со сверхсветовым увеличеннем и разрепгеннем и, таки.м образом, расширить об.1асть ирименення .магнитного электронного .микроскоиа Л1арк11 ЭМ-100.

Предлагаемая конструкция иммерсиопиого объектива должна выдерживать более высокое напряжение, чем нзвестные эмнсснонные микроскопы. Это должно позволить yMenbiUHTij разрешаемое расстояние.

Предлагае.мое эмиссионное приспособление электронного микроскопа изображено на чертеже. Оксидный катод / с косвенным подогревом, набор съемных колец 2, фокусирующий электрод 3, съемный наконечник 4, установочный винт 5,. установочный шаблон 6, продольные выреjYo 88456

зы 7, винты для центрировки 8, корпус катодной части 9, отверстия дли улучн1ения откачки катодио части 10, анодная диафрагма //.

Изменения в системе элект юииого мнкроскоиа ЭМ-100 сводится к следующему.

Изменения - в схеме иодачи высокого напряжения на катод л фокуCHpyioHuiH электрод вызваны отсутствием в схеме питания MiiK)ocKoria ЭМ-100 возможности подачи па фокусируюнип э;1ектрод положительного (но отношению к катоду) смещения независимо от анодного тока, что необходимо д.тя получения эмнссиониых изображений при работе со сравните.тьно высоким анодным напряжением. Эти нзменепия состоят л том, что в нред.тагаемой схеме введен специальныГ высокоомный делитель напряження, к одной десятой частн , нараллельно присоединен нреврап1енный в потеннпометр высокоомный ступенчатый реостат.

Таким образом, создается озможность 1з.менен11ем полбжительиого смеи1ен11я на фокусируюи1,е.м з.тектрсде от О до 0,1 анодиого напряжения, нроизводнть грубую фокусировку нрн но.чученнн изображений эмитируюпи1Х объектов.

Электронная пуп1ка щкроскона Э.И-100. благодаря замеие -образного катода накаливания плоским косвениопсдогреваемым оксидным катодом, нревращена в и.м.мерсионный объектив.

Изменения, виесепные п конструкник электронной нущки, кроме вьниеуказаииого, позволяют:

а)благодаря палич1по набора съемиых колец 2, изменять расстояние между (})окуеиру1О1цим электродо.м 3 и анодиой диафра1мой //, что дает нозможиость подбора иеобходимой иаиряжеиности ноля у катода в случае, когда это невозможно сде.тать нрн liOMOiiui высоковольтного выпрямите;: я.

б)благодаря продольным нырезам 7 в фокусируюнш.м электроде о , находя1цимся цротив винтов 8, производить центрировку катода, не снима5 фокусирующего э.тектрода (как это прих(хаится делать в обычной конструкщп катодной чаети М1 кроскопа Э.1-100) с корпуса катодной части У;

в)благодаря съемному наконечнику 4 фокуснруюн1,его э.тектрода -, установочному 5 п установочному шаб;1опу 6, менять и устанав,ливать расстояние между катодом / и фокуснруюпщм э.тектродом;

г)блсПодаря предусмотренным в накопечнпке 4 щести отверстиям JO, улучщнть ус;1овия откачкн катодной части.

Конструкция конденсорной линзы остается без нзмепенн. Однако при эмиссионных исс.чедованнях она 1)ынолняет соверн1енно дру1Ч1е функции, она служит:

а)для точной фокуспровкн изображения;

б)для HeiiTpiipojiKH irviMCiJCiioiuioix) объектш а относ1Г1е;И)Но оси микроскопа н д;1Я персмеп;ен11я псследуемо1о с:)бъектива в н.лоскости, пернендику.чярной оси прибор;, с це.тью нросмот)а различных участков обьекга.

Камера н1Л1озован.иг1 объекта при эмиссиоииых исследованиях удаляется и заменяется переходником с такими же впещпимп габаритами, ко со значительио большим внутренним диаметром, что cyniecTBCinio улучшает условия откачки катодной части.

При производстве эмиссиониых исследований обмотка объективно линзы выключается, а нолюсиый иакопеч1П1к вместе с его держателем lu канала объективной линзы удаляется (что также улучшает ус,товия oiкачки).

Все остальные уз.чы мпкроско 1а ЭМ-100 при эмиссиоипых исс;1е;1ованиях остаются без изменений, выно.чняя те же функцин, что и при работе микроскопа на просвет.