Полый холодный катод Советский патент 1983 года по МПК H01J17/00 

L ff-f)0K

в

сх 00 сх

ел

Изобретение относится к области технической физики и используется в приборах тлеющего разряда, например для газовых оптических квантовых генераторов.

Известен полый катод, содержащий цилиндрическую полость L1 .

Недостатком катода является высокое значение катодного падения потенциала.

Известен полый катод, содержащий полость в виде усеченного конуса, позволяющий получить равномерное распределение тока по поверхности и равномерную эрозию полости като- да С 2 .

Недостатком этого катода является зависимость катодного падения потенциала от давления.

Целью изобретения является увеличение ресурса и КПД катода путем снижения катодного падения потенциала и «уменьшения зависимости его 6т давления газа.

Цель достигается тем, что в полом катоде в виде металлического цилиндра со сквозной полостью поверхность поЛости катода выполнена в виде чередующихся канавок и ребер, имеющих

форму равносторёкнего т еугольника с глубиной канавок, равной половине дигиувтра (Фц) полости.

На чертеже изображен полый холодный катод.

Катод выполнен в виде металлического цилиндра 1 с полостью 2, канавками 3 и ребрги и 4.

Зажигают разряд в полости катода. Положительные ионы, поступающие на полую поверхность катода в виде чередующихся канавок и ребер из плазмы отрицательного свечения, расположенной в приосевой области, попадают на поверхность катода под

некоторым углом к нормали. При таком падении ионов коэффициент вторичной эмиссии оольше, чем при падении по нормали, что приводит к уменьшению катодного падения потенциала, Т:.е. уменьшает напряжение горения разряда, а также ослабляет зависимость напряжения горения от давления газа. Снижение катодного падения потенциала уменьшает распыление материала катода, что приводит к увеличению его долговечности. Одновременно разряд оказывается в некотором диапазоне давлений газа, некритичном к значению давления газа.

i

ПОЛЫЙ ХОЛОДНЫЙ КАТОД в виде металлического цилиндра со сквозной полостью, отличающийся тем, что, с целью увеличения ресурса и КПД катода, поверхность полости выполнена в виде чередующихся канавок и ребер, имеющих форму равностороннего треугольника с глубиной канавок, равной половине диаметра полости.