Тензорезистор Советский патент 1982 года по МПК G01B7/16 

(54) ТЕНЗОРЕЗИСТ-ОР

1

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к тензоизмерительньм устройствам.

Известен тензорезистор, содержащий чувствительный злемент и выводы 1 .

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является тензорезистор, содержащий чувствительный элемент из нитевидного полупроводникового монокристалла с точечными контактами и выводами, соединенными с его концами 2.

Однако из-за краевых эс фектов минимальная длина базы тензорезистора ограничена размером 1 мм, что не позволяет использовать тензорезисторы для измерений локальных деформаций С в определенной точке), или же при их применении точность измерений ухудшается, так как тензорезистор фиксирует усредненную по базе деформацию, что при измерениях неоднородных деформаций может дать значительную погрешность.

Цель изобретения - повышение точности измерений тензорезистора.

Эта цель достигается за счет того, что тензорезистор снабжен дополнительным точечным контактом с выводами, соединенными с чувствительным .элементом в средней части последнего.

10

На чертеже показана схема тензорезистора.

Тензорезистор содержит чувствительный элемент I из нитевидного по15лупроводникового монокристалла с точечными контактами 2 и 3 и выводами 4 и 5, соединенными с его концами, и дополнительным точечным контактом 6 с выводами 7 и 8, соединенными с

30 чувствительным элементом в средней части последнего.

Работа тензорезистора осуществляется следующим образом. Через вьшод А, контакт 2, чувствительный элемент 1 и вывод 7 проте кает стабилнзированный постоянный ток ((.. Так как сопротивление контакта 6 является функцией деформаци в данной точке, падение напряжения на контакте 6, измеренное с помощью милливольтметра, включенного в цепь включающую вывод 5, контакт 3, чувс вительный элемент 1, контакт 6, вывод 8, определяет Деформацию в точке контакта. Предлагаемый тензорезистор существенно повышает точность за счет уменьшения базы измерений, так как деформации измеряются в области точечного JCOHTAKxa, кроме того, тензорезистор обладает хорошей температурной стабильностью в интервале температур 20-90 С. 24 Формула изобретения Тензорезистор, содержащий чувствительный элемент из нитевидного полупроводникового монокристалла с точечными контактами и выводами, соединенными с его концами, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, он снабжен дополнительным точечным контактом с выводами, соединенными с чувствительным элементом в средней части последнего. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Приборы и техника эксперимента, 1977, № 5, с. 216. 2. Сандулова А.В. Тезисы докладов IV конференции по полупроводниковой тензометрии, Львов, ЛОЛПИ 1969, с. 15.

-п

г

у