Способ контроля шероховатости поверхности Советский патент 1982 года по МПК G01B11/30 

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике, в частности к оптическому контролю покрытия, нолучае- мого а вакууме, и может быть использовано при разработке приборов контроля шероховатости поверхностей этих покрытий. Известен способ определения чистоты новерхности (шероховатости) заключа о-. шдйся в том, что направляют поток элеК тронных лучей на экран и фотопластинку, касательно к поверхности детали, и по полученному теневому изображению действительного профиля микронервностей noBepjcHocTH судят о чистоте поверхности (шероховатости) 1.. Недостатком известного способа явля ется, то, что неровности определя отся илтегрально по всему профилю новерхности. Кроме того, в нроцессе ионио-плазменного напыления этот способ неприменим из-за рассеивания электронных луче при их взаимодействии с плазмой. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ контроля шероховатости поверхности, заключающийся в том, что направляют излучение определенной длины волны на контролируемую поверхность и регистрирую излучение, отраженное от поверхности 2 J Недостаток этого способа - невозможность осуществления контроля шероховатости. наньшяе мости новерхности из-за помех, вносимых излучением плазмы, а также процессом взаимодействия монохроматического излучения с плазмой. Цель изобретения - контроль поверхности в процессе ионно-плазменного напыления. Указанная цель достигается тем, что направляют сфокусированное монохроматическое излучение на контрошфуемую поBepxiiocTb, выбирают излучение, длина ВОЛ1ГЫ которого отлична от длины волны спектра плазмы на 2-3 полуццфины линии спектра. 389 Способ заключается в следующем. Направляют монохроматическое определенной длины волны излучение на кон1ро;1Г11фуемую поверхность, при этом для поддержания непрерывного контроля шероховатости одновременно с процессом ионно-плаэменного напыления выбирают монохроматическое излучение, длина волны которого отлична от длины волны спектра плазмы на 2-3 полуширины лйнии спектра плазмы, т.е. чтобы плазма была оптически прозрачной средой. Отраженное от контролируемой поверх ности излучение регистрируется. Для удовлетворительной регистрации отраженного излучения необходимо, чтобы интенсивность монохроматического излуч ния задавалась в 5-.10 раз больше, чем интенсивность излучения плазмы в той же части спектра, что и спектральная линия монохроматического излучения. При рассеянии излучения на контролируемой поверхности меняется мощность регистрируемого сигнала, определяющая степень шероховатости поверхности. Таким образом, при {зеализадии предлагаемого способа контроль шероховатос 1 ти и напыления осуществляется одновременно. Формула изобретения Способ контроля шероховатости поверхности, заключающийся в том, что направляют излучение определенной длины волны на контролируемую поверхность ц регистрируют излучение, отраженное от поверхности, отл и чающий с я тем, что, с целью контроля поверхности в процессе ио1шо-плазмеш1ого напыления, направляют сфокусированное монохроматическое излучение на контролируемую поверхность, выбирают излучение, длина волны которого отлична от длины волны спектра плазмы на 2-3 полуширины линии спектра. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское сввдетельство СССР № 111923, кл. q 01 В 11/30, 07.01.57. 2.Авторское свхщетельство СССР № 386238, кл. Q 01 В 11/ЗО, 26.09.73 (прототип).