Способ измерения давления в отпаянных вакуумных конденсаторах Советский патент 1982 года по МПК H01J9/42 H01J41/06 

(Ц) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ В ОТПАЯННЫХ

I

Изобретение относится к производству электровакуумных приборов и может быть использовано для измерения давления остаточных газов в вакуумных конденсаторах, выключателях и переключателях.

Известен способ определения давления в отпаянных электровакуумных приборах, основанный на том, что прибор помещают в магнитное попе и к электродам прикладывают электрический потенциал, а о давлении в приборе судят по величине ионного тока С.

Однако во время измерения в результате откачивающего действия манометрической схемы значительно изменяется давление в приборе.

Известен способ измерения давления в отпаянных вакуумных конденса- JQ торах,включающий определение давления по амплитуде разрядного -тока, возни кайщего в скрещенных магнитом и электрическом полях, при подаче на ВАКУУМНЫХ КОНДЕНСАТОРАХ

электроды конденсатора импульса высокого напряжения 2 |.4 Использование указанных способов для измерения давления остаточных газов в вaкyy « ыx конденсаторах, выключателях и переключателях при давлении ниже , практически невозможно, а при давлениях порядка g-6w Zlff Top связано с большими погрешностями, что объясняется труд ностью возбуждения разряда в высоком вакууме, а также влиянием токов автоэлектронной эмиссии, утечки и других, не связанных с давлением. Известные способы возбуждения разряда в высоком вакууме, например использование трансформатора Тесла или введение вспомогательного подогрева ного катода, для вакуумных коденсаторов мало эффективны или вообще неприемлемы. Так трансформатор Тесла возбуждает разряд локально за счет десорбции газа с внутренней поверхности оболочки изделия, а не в ва389куумном зазоре, введение вспомогател ного катода связано с изменением кон струкции приборов и может привести к снижению их надежности. Целью изобретения является расширение предела измерений в сторону низких давлений и повышение томности измерений, Поставленная цель достигается тем, что согласно способу измерения давления в отпаянных вакуумных конденсаторах, включающему Определение давления по амплитуде разрядного ток возникающего в скрещенных магнитном и электрическом полях, при подаче на электроды конденсатора импульса высо кого напряжения, увеличивают давление в конденсаторах путем их выдержки при максимальной рабочей температуре и по экспериментальной зависимости давления от температуры судят о-давлении в конденсаторах при заданной температуре. На фиг, 1 приведена градуировочна зависимость разрядного тока вакуумного конденсатора типа КП1-3 емкость пФ от давления в нем; на фиг,2 семейство градуИровочных зависимасте давления от температуры и графически показана методика определения давления в конденсаторе. Способ измерения давления заключается в следующем. Прибор вместе с соленоидом помещают в камеру тепла и выдерживают в ней при максимальной рабочей температуре, причем градиент температуры направляют в рабочую зону межэлектродного зазора для повышения стабиль ности возбуждения разряда. При этом в течение некоторого времени (0,5 1 ч) за счет десорбции адсорбированных газов с поверхности электродов и оболочки приборов давление-В них повышается и достигает какого-то определенного для каждого прибора значения. После этого в скрещенных магнитном и электрическом полях у приборов измеряют разрядный ток и по градуировочной зависимости разрядного тока от давления (фиг, 1), снимае мой для каждого типа приборов, определяют давление в них. Затем,пользуясь семейством градуировочных зависимостей давления от температуры, снятых также для каждого типа приборов (фиг. 2), определяют давление в них при заданной температуре Повышение давления в приборах перед измерением разрядного тока путем их выдержки при максимальной рабочей температуре позволяет улучшить условия ионизации остаточных газов за счет чего увеличивается амплитуда разрядного тока, что, е свою очередь, приводит к повышению т.очности измерений, а использование семейства градуировочных зависимостей давления от температуры позволяет оценить давление при низких температурах, в том числе и давление, измерение которого при температуре, например, +20°С неосуществимо известными способами, т.е расширить предел измере НИИ в сторону низких давлений. Формула изобретения Способ измерения давления в отпаянных вакуумных конденсаторах,включающий определение давления по ампли туде разрядного тока, возникающего в скрещенных магнитном и электрическом полях, при подаче на электроды конденсатора импульса высокого напряжения, отличающийся тем, что, с целью расширения предела измерений в сторону низких давлений и повышения точности измерений, увеличивают давление в конденсаторах путем их выдержки при максимальной рабочей температуре, до момента окончания повышения давления, определяют давление при этой температуре и по экспериментальной зависимости давления от температуры судят о давлении в конденсаторах при заданной температуое. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Минкин A.M. Измерение вакуума в отпаянных передающих телевизионных т;рубках Электронная техника,сер.4, вып. 2„ 1970, с. 80-86о 2о Авторское свидетельство СССР № , кл. Н 01 J 9Л2, 1979, (прототип).

Зр.МкА

IWD

W

(pai.1

fZfC fSb

иг.2