Способ изготовления электродной системы газоразрядной индикаторной панели переменного тока Советский патент 1982 года по МПК H01J17/48 H01J17/49 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДНОЙ СИСТЕМЫ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ИНДИКАТОРНОЙ ПАНЕЛИ ПЕРЕМЕННОГО

1

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении газоразрядных индикаторных панелей (ГИП).

Известны способы изготовления электродной системы ГИП, электроды которых изготовляются из различных металлов - золота или алюминия 1.

Недостатком данного способа являются использование дефицитного дорогостоящего материала - золота или высокое сопротивление электродов (в случае алюминия); наличие обрывов электродов из-за недостаточной адгезии пленки золота к стеклянной подложке или возможности окисления электродов при термЪобработке во время формирования изоляционного слоя.

Известен также способ изготовления электродной системы ГИП переменного тока путем нанесения на пластину с электродами изоляционного покрытия из легкоплавкого стекла и термической обработки при 500-600°С 2.

Однако верхний слой хрома часто разрушается при изготовлении фотолитографическим способом.

ТОКА

Кроме того, пленка хрома не защищает медную основу электрода от окисления при формировании изоляционного слоя.

Цель изобретения - защита электродов от коррозии при термических обработках. Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления электродной системы газоразрядной индикаторной панели переменного тока, заключающемуся в нанесении на пластину с электродами изоляционного покрытия из легкоплавкого стекла и термической обработке при 500-600°С, перед нанесением изоляционного слоя из легкоплавкого стекла на электродную систему наносят слой окиси магния толщиной 0,15-0,5 мкм методом реакционного термического испарения в плазме.

На диэлектрическое основание, например стекло наносят пленочные электроды или электроды из неблагородного металла, например меди, которые наносят трафаретной 20 печатью, и контактные площадки.

На электродную систему методом реакционного термического испарения в плазме наносят защитный слой окиси магния, а затем изоляционный слой легкоплавкого стекла и проводят термообработку. Далее на пластину может быть нанесено стабилизирующее покрытие из окиси магния. Прибор собирают из двух электродных пластин, располагая при этом электроды ортогонально, герметизируют с помощью стеклокристаллического цемента при 400-500°С, а затем откачивают с прогревом прибора при 300-400°С.

На фиг. 1 приведен пример изготовления панели.

На стеклянную подложку 1 путем термовакуумного напыления наносят сплощную пленку 2 меди толщиной 3-4 мкм. Фотохимическим методом вытравливают электроды щириной 800-100 мкм. На конец каждого электрода методом трафаретной печати наносят составную контактную площадку 3. Далее на электродную систему с контактной площадкой наносят (методом реакционного термического испарения в плазме) защитный слой 4 окиси магния толщиной 0,15-0,5мм.

Затем методом трафаретной печати наносят изоляционный слой 5 легкоплавного стекла, который оплавляют при 500-600°С. Последним наносят дополнительный слои 6 из окиси магния. Проведено обследование защитных свойств покрытия игз пленки окиси магния; изоляционого покрытия из легкоплавкого стекла и двухслойного покрытия окись магния - изоляционный слой.

Результаты показали, что первые два покрытия, каждое в отдельности, не защищают электроды от коррозии. Двухслойное покрытие защищает электроды от окисления при термообработке.

За критерий оценки защитных свойств было выбрано сопротивление электродов, измеренное при различных температурах и выдержках обработки.

На фиг. 2 представлены зависимости сопротивления электродов от температуры обработки: 1 - использован изоляционный слой только из легкоплавкого,стекла толщиной 40 мкм. Электроды окислялись в интервале 200-250°С; 2 - использовано покрытие только из окиси магния, окисление электродов происходит в интервале 500-550°С; 3 - использовано двухслойное покрытие. Сопротивление не изменялось во всем исследуемом диапазоне температур до .600°С.

Предлагаемый способ изготовления электг родной системы дает возможность использования в качестве материала электрода - медь, имеющую высокую электропроводность заменяется дифицитный материал -г золото, следовательно снижается себестоимость способа.

Формула изобретения

Способ изготовления электродной системы газоразрядной индикаторной панели переменного тока путем нанесения на пласти ну с электродами изоляционного покрытия из легкоплавкого стекла и термической обработки при 500-600°С, отличающийся тем, что, с целью защиты электродов от коррозии при термических обработках, перед нанесением изоляционного слоя легкоплавного стекла на электродную систему наносят слой окиси магния толщиной 0,15-0,5 мкм методом реакционного термического испарения в плазме.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Бердичевский А. М. и Лакомкина Т.Н. Индикаторные помехи за рубежом.-Обзоры по электронной технике. Серия 4. «Электровакуумные и газоразрядные приборы, М, ЦНИИ «Электроника, 1975.

2.Патент США № 3804609, кл. 65-59, опублик. 1974.

ту.-.г-..-..у.у..--.-..у,-.-..-.-.у../;-,-./X X ,

///////////////////7777//,

.6 .5 .4 2

J

$: