Способ контроля герметичности замкнутых корпусов изделий Советский патент 1982 года по МПК G01M3/40 

(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ЗАМКНУТЫХ

1

Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для контроля, герметичности замкнутых корпусов изделий, например микросхем, бло- ков радиоэлектронной аппаратуры.

Известен способ контроля герметичности замкнутых корпусов изделий, заключающийся в том, что испытуемое изделие помещают в вакуумную камеру, устанавливают над ним электроды, обезгаживают их поверхность, заполняют изделие контрольным веществом, повышают напряжение между электродами до возникновения пробоя между ними 1 .

Наиболее близким к изобретению является способ контроля герметичности замкнутых корпусов изделий, который заключается в том, что заполняют корпус контрольным газом, определякзг электршчес- кую прочность последнего с помощью двух обезгаженных электродов путем измерения предпробойного напр5окения на них до и после заполнения корпуса контрольным газом и но разности измеренных КОРПУСОВ ИЗДЕЛИЙ

напряжений определяют величину негерметичности 2.

Однако известные способы не позволяют производить контроль герметичности замкнутых корпусов изделий в процессе их хранения и эксплуатации, так как в замкнутый корпус готового действующего изделия невозможно подать контрольный газ и практически невозможно со- . здать вокруг него вакуум.

10

Целью изобретения является обесг;-- чение контроля герметичности замкнутых корпусов изделийВ процессе их хранения и эксплуатации.

Указанная цель достигается тем, что

J5 согласно способу контроля герметичности замкнутых корпусов изделий, включающему заполнение корпуса контрольным газом, определение электрической прочности последнего с помощью двух обезгалсенных

20 электродов путем измерения предпробой- ного напряжения на нйх до и после за|ПОлнения корпуса контрольным газом и определение величины негерметичности 39 по разности измеренных напряжений, эле ктроды устанавливают в корпус изделия, а заполнение контрольным газом ведут до величины минимального предпробойного напряжения, после чего корпус издел)Шч герметизируют. При заполнении корпуса контрольным газом давление внутри корпуса следует уменьшать за предел минимума предпробойного напряжения, поскольку уменьшение давления повышает величину предпробойного напряжения и тогда в случае течи в корпусе изделия измepeIiиe величины предпробойного напряжения носит характер неопределенности. Одному значению предпробойного напряжения могут соответствовать два значения давления газа внутри корпуса. В качестве контрольного вещества быть использован воздух или сме Ne + 0,1 At- . На фиг. 1 схематично показан корпус металлокерамической микросхемы с технологическими элементами, необходимым для реализсэции способа, вид спереди; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1, Микросхема состоит из керамическог основания 1, на котором закреплен полу- 1роводниковый канал, 2, с припаянными нему проводниками от выводов З.дДва электрода 4 образуют разрядник с расстоянием электродами 1 мм. На штатном месте одного из выводов смонтирована металлическая капиллярная тру ка S, Микросхема герметизирована мета лической крышкой 6. Способ реализуется следующим образом. В процессе сборки изделия, например микросхемы, между основанием 1 и кры кой 6 устанавливают электроды 4 и металлическую капиллярную трубку 5. Посл этого вакуумируют корпус микросхемы и заполняют контрольным газом до величины минимального предпробойного напряжения на электродах 4. Затем корпус микросхемы герметизируют путем обжатия и запаивания внешнего конца трубки 5. Таким образом, в корпусе микросхемы создают постоянное давление на уровне минимального предпробойного нащзяжения на электродах. При использова рши в качестве контрольного газа сухого воздуха давление находитс я на уровне 30 - ЗОО Па, что соответствует предщэобойному напряжению на электродах около ЗОО В. Величину минимального 4 эедпробойного напряжения записывают паспорт изделия. Натекание воздухаатмосферы через дефекты и неплотности корпуса микро- хемы приводит к повышению давления нутри корпуса и к повышению величины федпробойного напряжения. Измерение той величины напряжения с помощью внешнего измерительного устройства в любой момент эксплуатации изделия позволяет определить степень негерметич- ности замкнутого корпуса изделия. Повышение предпробойного напряжения относительно паспортной величины является критерием негерметичности корпуса. Предложенный способ позволяет проверить на герметичность замкнутые корпуса изделий в процессе их производства и эксплуатации, а также после их много летнего хранения. Способ позволяет осуществлять 1ОО%- ный контроль герметичности сложных и дорогостояш.их изделий электронной техники в процессе их эксплуатации. Это сушественно повысит надежность радиоэлектронной аппаратуры, в которой используются эти изделия. Формула изобретения Способ контроля герметичности замкнутых корпусов изделий, заключающийся в том, что заполняют корпус контрольным газом, определяют электрическую прочность последнего с помощью двух обезга- женных электродов путем измерения предгробойного напряжения на них до и посла заполнения корпуса контрольным газом и по разности измеренных напрядсений находят величину негерметичности, о т ли ч аюшийся тем, что, с целью обеспечения контроля герметичности в процессе хранения и эксплуатации изделия, электроды устанавливают в корпус изделия, а заполнение контрольным газом ведут до величины минимального-предгфобойного напряжения, после чего корпус изделия герметизируют. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР N 168925, кл. G 01 М 3/40, 1963. 2.Авторское свидетельство СССР N 64757:, кл. G 01 М 3/40, 1976 (прототип).

jL

Фиг.г