Система автоматического управления вакуумной установкой Советский патент 1982 года по МПК F04F9/04 G05B9/00 

(5) СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКОЙ

I

Изобретение относится к вакуум- ; ной технике, а именно к системам автоматического управления вакуумнь ми установками.

Наиболее близкой к изобретению является система автоматического управления вакуумной установкой, содержащая, входной и выходной управляемые вентили диффузионного насоса с нагревателем и размещенный на форвакуумном трубопроводе датчик давления, связанный с регистрирующей, сигнализирующей и командной аппаратурой воздействия на вентили 1}Г

Недостаток известной системы, автоматического управления - невысокая надежность, обусловленная наличием тр-ех отдельных каналов контроля режима работы.диффузионного насоса по давлению,расходу воды и электропитанию.

Целью изобретения является повышение надежности системы автоматического управления при выполнении датчика давления радиометрическим.

Указанная цель достигается тем, что датчик установлен в зоне нагревателя диффузионного насоса и снабжен обоймой с прорезями и приемником инфракрасного излучения,связанным с командной аппаратурой воздействия на входной вентиль.

На чертеже представлена схема

10 системы автоматического управления вакуумной установкой.

Система автоматического управления вакуумной установкой содержит входной и выходной управляемые вен15тили 1 и 2 диффузионного насоса 3с нагревателем k и размещенный на форвакуумном трубопроводе 5 датчик 6 давления, выполненный радиометрическим и связанный с .регистрирующей,

20 сигнализирующей и командной аппаратурой 7 воздействия на вентили 1 и 2, причем датчик 6 установлен в зоне нагревателя 4 диффузионного насос.э 3 и снабжен обоймой 8 с проре3HMfi 9 и приемником 10 инфракрасног излучения, связанным с командной ап паратурой воздействия на входной вентиль 1, Система работает следующим образом. При установившемся йормальном режиме работы вакуумной установки обойма 8 радиометрического датчика 6 давления под действием излучения нагревателя k насоса 3 вращается с определенной частотой за счет радиометрического эффекта. Частота вращения обоймы определяется величиной давления в форвакуумном трубопроводе 5 и тепловой нагрузкой от нагревателя .Инфракрасное излучение от нагревателя i, проходя через диаметрально противоположные пр рези 9 обоймы 8, достигает приемника 10 инфракрасного излучения, реги стрируется им и передается на регистрирующую аппаратуру 7. При отклонении режима работы устанрвки - изменении давления в форвакуумном трубопроводе, отсутствии электропитания на нагревателе или о лаждающей воды в системе охлаждения диффузионного насоса - частота вращения обоймы 8 изменяется и командная аппаратура подает сигнал на закрытие входного вентиля 1. Таким образом, контроль режима работы установки по давлению, расходу охлаждающей воды и электропитанию осуществляется по одному каналу, что в целом повышает надежность системы управления. Формула изобретения Система автоматического управления вакуумной установкой, содержащая входной и выходной управляемые вентили диффузионного насоса с нагревателем и размещенный на форвакуумном трубопроводе датчик давления, связанный с регистрирующей, сигнализирующей и командной аппаратурой воздействия на вентили, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности при выполнении датчика давления радиометрическим, последний установлен в зоне нагревателя диффузионного насоса и снабжен обоймой с прорезями и приемником инфракрасного излучения, связанным с командной аппаратурой воздействия на входной.вентиль. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Грошковский Я. Техника высокого вакуума. М., Мир, 1975, с. 556.

водя