Вакуумная установка Советский патент 1993 года по МПК F04F9/04 

Изобретение может быть использовано в кокстру1щиях автоматизированных вакуумных установок на базе холоднь х диффузионных насосоа Цель изобретения - обеспечение непрерывности выадмной установки с одновременной автоматизацией пр оцесса вакууг ирования. Холодный диффузионный насос выполнен в виде корпуса (К) 1 с входным патрубком 2 и разме денными в К 1 соплосым 6.noi;oM 3 и криогенным экраном (К9) 4. Форвакуумный насос 6 соединен с К 1 и емкостью 5 ,цля хранения рабочего тела Второй холодный диффузионный иасос выполнен в виде К 9 с входным патрубком 10 и размещенным в К 9 сопловым блоком 11 и КЗ 12. Насос 6 соединен с К 9 и емкостью 13 для хранения рабочего тела второго на- coca. Емкости 5, 13 снабжены КЗ 17, 18 и теплоизолированными криогенными трубопроводами (КТ) 19,20 с регулирующими вентилями 21, 22. КТ соединен с КЗ 12. КТ 20 соединен с КЗ 4. КЗ 4, 12, 17,18 снабжены нагревателями 23 - 26 и датчика- ми 27 - 30 т-ры. Датчики 31-34 давления установлены из К 1,9 и емкостях 5,13. Вентили 21,22 и запорная арматура 8,15 через систему 16 управления связаны с датчиками 27 - 30,31 - 34. 1 ил.