Электротепловой элемент Советский патент 1982 года по МПК H01L35/02 

(54) ЭЛЕКТРОТЕПЛОВОЙ ЭЛЕМЕНТ

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано в качестве времязадающего элемента в устройствах частотной селекции ннфранизкочастоггаого диапазона. Известен электротепловой элемент, содержащий теплопроводящую пластину, на поверхности которой расположен электротепловой преобразователь в виде резнстнвного слоя определенной конфигурации, причем резистивный слой изолирован от тепдопроводящей пластины диэлектрическим слоем и снабжен сосредоточенным теплоэлектрическнм преобразователем 1. Недостатком этого электротеплового элемен та является низкая точность реализации заданной передаточной функции. Известен также электротепловой элемент, содержащий теплопроводящую пластину, вы- полненную из полупроводникового материала, сформированные на ней теплоэлектрический преобразователь и распределенный электротеп ловой преобразователь с контактными площадками {2J. В известном устройстве электротепловой преобразователь выполнен в виде транзисторной структуры, так что тепловой поток, создаваемый таким преобразователем, является в принципе трехмерным. Для реализации заданной передаточной функции необходимо обеспечить .точное распределение плотности мощности, вьщеляемой по всем трем координатам. Практическая реализация требуемого распределения плотности выделяемой тепловой мощности с помощью транзисторных структур сопряжена с большими трудностями. Цель изобретения - упрощение и улучшение параметров электротеплового элемента. Указанная цель достигается тем, что в электротепловом элементе, содержащем теплопроводящую пластину, выполненную из полупроводникового материала, сформированньге на ней теплоэлектрический преобразователь и распределенный электротепловой преобразователь с контактными площадками, дополнительно в теплопроводящей пластине под расположенными на ее поверхности контактными площадками вьшолнены поперечные прослойки из материала

с высокой электропроводностью, а участок теплопроводящей пластины, заключенный между этикш прослойками, имеет изменяющееся nq длине пластины электрическое сопротивл те.

Для получения требуемого распределения электропроводности по длине теплопроводяшей Пластины могут быть использовайы широко известные в полупроводниковой технологии методы легирования материала такие, как диффузия, ионное легирование и т.п.

Изобретение позволяет зиачительио сократить время и трудозатраты на проекпфование и изготовление электротепловых функциональных элементов и существенно повысить точ-j ность воспроизведения заданной на стадии проектирования передаточной функции.

Формула изобретения

Электротепловой элемент, содержащий теплопроводящую пластийу, выполненную из полупроводникового материала, сформированные на ней теплоэлектрический преобразователь и распределенный электротепловой преобразователь с контактными площадками, отличающийся тем, что, с целью упрощения и улучшения параметров, в теплопроводящей пластине под расположенными на ее поверхности контактными площадками выполнены поперечные прослойки из материала с высокой электропроводностью, а участок теплопроводящей пластины, заключеиный между этими прослойками, имеет измомющееся по длине пластины электрическое сопротивлеиие.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

2.Gray р. R et а|. Analysis of Electrothermal Integrated Circuits. - IEEE Journal of Solkl - State Circuits, 1971, vol. SC-в, N 1, p- 8-14 (прототип).