Полировальный состав Советский патент 1982 года по МПК C09G1/02 

( ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ СОСТАВ

1

Изобретение относится к химикомеханической обработке и может быть использовано для уменьшения шероховатости обрабатываемой поверхности металлических прецизионных деталей.

Известен полировальный состав, содержащий жидкую основу и абразивные вещества, которые являются твердыми частицами определенного размера, например микропорошок электрокорунда 1.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемФму является полировальный состав f2, содержащий , вес.%:

Карбид кремния 10-40 Нитрит натрия 0,5-1,0 Вода54-7,5

Пемза5-15

Однако используемые в полировальных суспензиях жидкие основы, как прарило, является довольно слабыми химическими реагентами. Поэтому основной упор действия суспензии дела.ется на абразивные частицы (з данном случае карбид кремния и пемза, т.е. преобладает механическое воздействие из всей совокупности физико-химических процессов. Но при использовании в полировальных композициях абразивных частиц из твердых материалов при

,Q обработке металлической поверхности прецизионных деталей, в частности воспринимающих элементов металлопленочных датчиков физических величин, появляются микроцарапйны, риски, а

5 также возможно шаржирование поверхности, т.е. внедрение абразивных частиц в нее, кроме того, появляется тепловое воздействие (за счет трения; на обрабатываемую поверхность, что

20 приводит к структурно-фазовым изменениям в верхнем слое поверхности прецизионных деталей. Структурная нестабильность поверхности, микроцарапйныи рис39ки на ней, внедрение посторонних частиц в дальнейшем отрицательно сказываются при формировании микросхем в процессе изготовления, например, металлопленоцных датчиков физических величин. Цель изобретения - повышение качества поверхности металла при температуре обработки от -10 до . Для достижения указанной цели полировальный состав для обработки металлической поверхности- прецизионных изделий, включающий жидкую основу и абразивные частицы, в качестве жидко основы содержит фосфорную кислоту, глицерин, продукт оксиэтилирования синтетических спиртов с 10-16 атомам углерода (синтанол) и в качестве абразива - частицы льда при следующем соотношении компонентов, об.ч: Фосфорная кислота ,5 Глицерин0,8-1 Синтанол0,-0,5 Частицы льда 0,8-1 Фосфорная кислот-а усиливает химическое воздействие на обрабатываемую поверхность, образуя, помимо окисной пленки, фосфаты с составными компонентами обрабатываемой метал лической поверхности. 1 Глицерин увеличивает вязкость образующейся пленки из продуктов химического и механического воздействия на обрабатываемую поверхность, обес печивая тем самым большую степень сглаживания неровностей обрабатываемой поверхности. Синтанол, являясь поверхностноактивным веществом, усиливает действие адсорбционных процессов, котоИмеются риски и микроцарапины неисчезающего характера при освещении

Предлагаемый 1

0,050 - 0,025

0,025 - 0,012 + . 4 рые обусловливают уменьшение твердости обрабатываемой поверхности и спо собствуют пластическому течению обрабатываемого материала. Абразивные частицы, полученные замораживанием воды, имеют в зависимости от температуры замерзания разную твердость. Это позволяет обеспечивать требуемое механическое воздействие на обрабатываемую поверхность, исключая образование микроцарапин, рисок, и шаржирование поверхности, так как острые углы частиц льда при взаимном давлении на обрабатываемую поверхность оплавляются. Кроме того, за счет минусовой температуры самой полировальной суспензии исключается местный Hai- рев поверхностного слоя обрабатываемой поверхности. Для обработки металлической поверхности (сталь ЗбНхТЮ), например воспринимающего элемента металлопленочного датчика физических величин, готовят две полировальные сус пензии, об.ч: Фосфорная кислота Глицерин Синтанол Каждую из этих композиций замораживают при температуре жидкого азота (-196°С), и обработку ведут при периодическом охлаждении обрабатываемой поверхности (температура при этом может варьировать от -70 до ). Полученные результаты приведены в таблице (использован профилометр мод.201 завода Калибр). Из таблицы сравнения видно, что при использовании предлагаемого поли ровального состава повышается качест во обрабатываемой поверхности. .Использование предлагаемого полировального состава при обработке металлической поверхности прецизионных деталей обеспечивает по сравнению с известными повышение качества обрабатываемой поверхности за счет отсут ствия рисок, микроцарапин и ее шаржи рования, а также уменьшение ее шероховатости i исключение теплового воздействия на обрабатываемую поверхность,- приводящее к появлению структурной нестабильности в верхнем слое поверхности. Формула изобретения Полировальный состав для обработк металлической поверхности прецизионных изделий, включающий жидкую оснсв/ и-абразив, отличающийс я тем, что, с целью повышения качества поверхности металла при температуре обработки от -10 до , в качестве жидкой основы состав содержит фосфорную кислоту, глицерин и продукт оксиэтилирования синтетических спиртов с 10-16 атомами углерода и в качестве абразива - частиЦы льда при следующем соотношении компонентов, об. ч: Фосфорная кислота , 1-1,5 ;Глицерин0,8-1 Продукт оксиэтилирования синтетических спиртов с 1016 атомами углерода0,,5 Частицы льда 0,8-1 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР М- i 66272, кл. С 09 G 1X02, 1972. 2.Авторское свидетельство СССР W 711082, кл. С 09 G 1/02, 1978 (прототип).