Фотоэлектронный прибор с внешним фотоэффектом Советский патент 1982 года по МПК H01J31/48 H01J31/50 H01J43/00 

(5).ФОТОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИВОР С ВНЕШНИМ ФОТОЭФФЕКТОМ

Изобретение относится к электрон ной технике, в частности к фотоэлек тронным приборам с. внешним фотоэффектом, например диссекторам и фото электронным умножителям, в которых в качестве управляющего электрода применяется покрытие на внутренней поверхности оболочки прибора, подвергающееся в процессе изготовления прибора высокотемпературной обработке Для получения необходимых параметров приборов с управляющим электродом в виде покрытия на внутренней поверхности оболочки прибора покрытие должно быть высокоэлектропроводя1дим, иметь малый коэффициент отражения светового потока, сохранять прочность и электропроводность после высокотемпературной обработки оболочки прибора и не оказывать вредного влияния- на характеристики фотокатода, формируемого в одном объеме с покрытием. Кроме того, покрытие должно быть достаточно деше- вым и простым в изготовлении. Известен фотоэлектронный прибор, в котором в качестве управляющего электрода применено однослойное проводящее покрь1тие из алюминия. Это покрытие высокоэлектропроводящее, не оказывает вредного влияния на фотокатод, дешево и просто в изг&товлении 1. Недостаток покрытия состоит в том, что оно обладает высокой отражательной способностью и теряет прочность после высокотемпературной обработки прибора. Известен также фотоэлектронный прибор, в котором в качестве управляющего электрода применено однослойное проводящее покрытие из платины. Это покрытие выеокоэлектропроводящее, не оказывает вредного влияния на фотокатод, температуростойkoe и обладает малой отражательной способностью Г2. Недостатком покрытия является его высокая стоимость и трудоемкост изготовления. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретени является фотоэлектронный прибор с внешним фотоэффектом, содержащий уп равляющий электрод, выполненный на внутренней поверхности оболочки прибора в виде покрытия из хрома. Это покрытие не оказывает вредного влияния на фотокатод, температуростойкое, обладает малой отражатель ной способностью, дешево и просто в изготовленииСЗ Недостаток покрытия состоит в то что оно является недостаточно элек тропроводящим. . Цель изобретения - повышение качества прибора путем увеличения электропроводности в условиях высокотемперат. обработки оболочки. Указанная цель достигается тем, что в фотоэлектронном приборе с вне ним фотоэффектом, содержащем- управляющий электрод, выполненный на внутренней поверхности оболочки при в виде покрытия из хрома,на слой хрома нанесен слой алюминия, толщина которого составляет 1,5-2,6 толщины слоя хрома. Кроме того,,для улучшения параме ров прибора общая толщина покрытия сост1вляет 1000-180оК . Нанесение на слой хрома непосредственно слоя алюминия как высоко проводящего материала, образующего устойчивую тонкую окисную пленку, предохраняет покрытие от дальнейшег окисления, что в условиях высокотем пературной обработки покрытия(550580°С) обеспечивает повышение электропроводности. Кроме того, данное покрытие совместимо с фотокатодом, формируемым в этом же объеме, в результате незначительного взаимодействия его с щелочными металлами, участвующими в процессе формировани фотокатода, что приводит к увеличению световой чувствительности фотокатода. Повышение же электропроводности покрытия в условиях высокотем пературной обработки и световой чувствительности фотокатода приводит к улучшению качества прибора. 24 Толщина слоя хрома - 00-500 А обеспечивает высокую адгезию покрытия со стеклом, что в итоге приводит к высокой механической прочности. Толщина слоя алюминия ограничена следующими факторами. При толщине слоя менее 600 Л не удается получить необходимой электропроводности покрытия, а при толщине более 1300 А слой становится светлым, что повышает нежелательную в данном случае отражательную способность. Покрытие дает возможность повысить качество прибора в результате повышения электропроводности в условиях высокотемпературной обработки оболочки прибора и световой чувствительности фотокатода, т.е. является устойчивым к высокотемпературной обработке и не оказывает вредного влияния на качество фотокатода в приборах. Так, при изготовлении партии диссекторов с многощелочн.|м фотокатодом, в котором ускоряющим (управляющим) электродом является покрытие из хрома и алюминия, после высокотемпературной обработки оболочки с покрытием (операция высокочастотной заварки) сохраняется достаточно высокая для данного типа изделий электропроводность (электрическое сопротивление не выше 200 Ом). Предлагаемое покрытие наносится на внутреннюю поверхность оболочки прибора методом термического вакуумного напыления, позволяющим в зависимости от габаритов применяемого оборудования наносить покрытие на несколько оболочек одновременно. Формула изобретения 1.Фотоэлектронный прибор с внешним фотоэффектом, содержащий управляющий электрод, выполненный на внутренней поверхности оболочки прибора в виде покрытия из хрома, о тличающийся тем, что, с целью повышения качества прибора путем увеличения электропроводности в условиях высокотемпературной обработки оболочки, на слой хрома нанесен слой алюминия, толщина которого составляет 1,5-2,6 толщины слоя хрома. 2.Прибор поп.1,отличающ и и с я тем, что общая толщина покрытия составляет 1000-1800 Л. 5 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент ФРГ № , кл. 21 g 29/10, 1952. 9 59226 2. Далиненко Н. К., Букина Р. А,, Коротун В. П. Электронная техника, сер. Ц. вып. , 1968, с. 7-П. 3. Патент Великобритании 5 ГГ128 58,кл.Н ID, 19/2 (прототип).