Фотоэлектронный прибор Советский патент 1984 года по МПК H01J40/00 

. Изобретение относится к электро ной технике, а именно к фотоэлектронным приборам. Известен фотоэлектронный прибор изготавливаемый методом переноса в вакууме О. Герметизация узлов прибора посл завершения их раздельной обработки осуществляется в высоком вакууме путеу- заливки соединяющего узлы шва расплавленным индием или сплавом олово-индий. При этом из расплавленного металла вьщеляются газы, поступающие как внутрь оболочки при бора, так и в окружающий прибора объем вакуумной камеры. Если газы, попадающие в вакуумную камеру, отка чиваются вакуумными насосами, то газы, попавшие внутрь оболочки прибора, откачать трудно. Они могут попасть на фотокатод и вывести его из строя, или значительно ухудшить его параметры. Геттер, имеющийся в приборе, расположен вдали от узла герметизации Поэтому его действие на указанные газы неэффективно и не может обезо пасить фотокатод. Все это может привести к выходу прибора из строя или к ухудшению . его параметров, а следовательно, и к уменьшению процента выхода годных. Известен также фотоэлектронный прибор, содержащий оболочку, состоя щую из двух частей, внутри которой размещены фоточувствительный элемен и геттерное покрытие Г 2j . Узлы прибора отрабатываются независимо друг от друга в вакууме. Электроды прибора после соответству щей обработки соединяются со стеклянной оболочкой,. в торцовой частИ которой нанесен фоточувствительный слой. Герметизация осуществляется по ножке путем спаивания через расплавленный припой ПОИ-50, содержавши 50% олова, 50% индия. Недостатком такого прибора является ухудшение вакуума в приборе в процессе герметизации в результат попадания вьщеляющихся из герметизируемого шва газов. Это приводит к уменьшению процента выхода годных приборов. Целью изобретения является увели чение выхода годных приборов за счет улучшения защиты фоточувствительного элемента от отравляющих 1 газов при соединении в вакууме двух частей оболочки. Указанная цель достигается тем, что фотоэлектронный прибор, содержащий оболочку, состоящую из двух частей, внутри которой размещены фоточувствительный элемент и геттерное покрытие, содержит также экран, образующий с оболочкой замкнутый со стороны фоточувствительного элемента объем, отделяющий место соединения частей оболочки от остального объема прибора, при этом геттерное покрытие расположено по крайней мере на одной из противолежащих поверхностей экрана и оболочки. На чертеже представлен предлагаемый фотоэлектронный прибор. Фотоэлектронный прибор состоит из двух или нес1 ольких обрабатываемых независимо друг от друга узлов, сочленяемых и герметизируемых затем также в вакууме. Так, фоточувствительный элемент, нанесенный на стеклянный или волоконно-оптический диск 1, соединен с оправой 2, которая в свою очередь соединена с электрическим кольцевым вводом 3, к которому приварен кольцевой экран 4, выполняющий роль управляющего электрода входной камеры прибора. Заканчивается фотокатодный узел герметизирующим элементом 5. Ответная часть прибора состоит из оболочки 6 с размещенными в ней электродами. Герметизация узлов прибора осуществляется пайкой через расплавленный металл 7 - индий или индий - олово типа ПОИ-50. Таким образом, после- герметизации прибора место сопряжения поверхностей оболочки отделено от остального объема кольцевым экраном, прикрепленным к оболочке со стороны входной камеры, противолежащим месту сопряжения. Причем на, по крайней мере, одной из этих противолежащих поверхностей нанесено геттерное покрытие 8 и 9.0 Геттерное покрытие, наносимое на одну или обе поверхности, может работать как по отношению к активным газам, выделяемым из узла герметизации или же из узлов прибора в процессе его работы, так и по отношению к щелочным металлам. Так, например, сурьма по отношению к цезию в фотоэлектронном приборе может быт1 геттером. Следовательно, кольцо сурьмы, нанесенное на одну из поверх ностей поверх геттерного покрытия или вместо него, может работать геттером по отношению к цезию. Реализация изобретения производит ся следующим образом. В вакуумном устройстве для реализации технологии переноса раздельно размещаются фотокатодный узел с кольцевым экраном 4 и ответная часть прибора с оболочкой 6. После получения в устройстве соответствующего вакуума и завершения вакуумнотермической обработки узлов прибора производится их раздельная обработка заключающаяся в предварительных тренировках термокатода, обезгаживаНИИ геттеров,наносимых на кольцевой экран прибора и противолежащую ему поверхность. Геттеры расположены в специальных устройствах вне оболочки прибора, которые позволяют наносить геттерное покрытие на внутреннюю по верхность оболочки прибора, как в от дельных ее точках, так и по всему диаметру оболочки прибора или его узлов. По завершении предварительной под готовки узлов прибора на стеклянном или волоконно-оптическом диске 1 формируется фотокатод и производится окончательная тренировка термокатода и других узлов прибора. Перед сочле1 . нением узлов прибора на кольцевой экран 4 и противолежащую ему в приборе поверхность оболочки наносятся геттерные покрытия 8 и 9. Завершающей операцией изготовления прибора является сочленение узлов прибора и финишная герметизация их в вакууме. В момент герметиза.ции расплавленным металлом узлов прибора, или же другим каким-либо способом, происходит газовыделение из узла герметизации внутрь оболочки-прибора. Кольцевое геттерное покрытие на кольцевом экране 4 и противолежащей ему поверхности прибора образуют замкнутый с одной стороны объем с.выходом внутрь объема прибора. Газы, выделяющиеся из узла герметизации, попадая -V в этот замкнутый с одной стороны объем, образованный геттерными поверхностями, поглощаются большей частью геттерным кольевыми зеркалами. Хотя геттерное зеркало и находится вблизи фотокатода, но их взаимное влияние практически несущественно, так как геттерное зеркало экранировано от фотокатода кольцевым экраном 4. В качестве кольцевого экрана может быть использован управляющий электрод входной камеры прибора. Предлагаемая конструкция позволяет улучшить вакуум в приборе, а следовательно, повысить процент выхода годньпс зданий.

ФОТОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР, содержащий оболочку, состоящую из двух частей, внутри которой размещены фоточувствительный элемент и гетЙйизПп::..: терное покрытие, отличающий с я тем, что, с целью повышения вы- . хода годных приборов за счет улучшения защиты фоточувствительного элемента от отравляющих газов при соединении в вакууме двух частей оболочки, он содержит экран, образующий с оболочкой замкнутый со стороны фоточувствительного элемента объем для отделения места соединения частей оболочки от остального объема прибора, при этом геттерное покрытие расположено по крайней мере на одной из противолежащих поверхностей экрана и оболочки. L:,