Координатный привод Советский патент 1982 года по МПК H05K13/02 H01L21/68 

(5) КООРДИНАТНЫЙ ПРИВОД

1

Изобретение относится к приборостроению и может быть применено в устройствах координатного позиционирования, например при изготовлении микросхем.

По основному авт.св. № 8603б8 известен координатный привод, содержащий столик и основание с установленным по его периметру контактными пластинами , фрикционно сопряженными со ,р столиком, и средство перемещения столика, соединенное с источником напряжения, в котором контактные пластины соединены с источником напряжения и изолированы одна от другой, а средст- jj во перемещения столика выполнено в виде электромагнита , установленного таким образом, что линии магнитного поля перпендикулярны плоскости столика 1.20

Недостатком этого устройства являются ограниченные функциональные возможности, заключающиеся, в возможности перемещения столика только прямолинейно в направлении осей координат, расположенных в плоскости столика.

Цель изобретения - расширение функциональных возможностей.

Цель достигается тем, что координатный привод снабжен дополнительным электромагнитом, установленным симметрично основному электромагниту относительно геометрического центра столи ка.

На фиг. 1 представлена схема устройства, вид сверху; на фиг. 2 - то же, вид сбоку,

Устройство содеркит основание 1, в нем установлены контактные пластины 2, подключенные к источнику импульсного напряжения (не показан), расположенные в виде прямоугольника, изолированные между собой и фрикционно сопряженные со столиком 3 а также постоянные электромагниты 4 ( основной и дополнительный7 с катушками 5, которые подключены к коммута3 gi+ ционному устройству (ие показаноJ, позволяющему их включать встречно, и расположены симметрично относительно геометрического центра столика. Устройство работает следующим образом. К источнику импульсного напряжения подключены две параллельные контактные пластины 2, а катушки 5 к источнику постоянного напряжения. Столик 3 замыкает параллельные пластины 2, образуя замкнутую цепь. При подаче импульса напряжения на столик 3i вокруг него создается магнитное поле, которое, взаимодействуя с магнитным полем катушек 5, создает пару сил от каждого электромагнита k перпендикулярных направлению протекания тока и силовым линиям магнитного поля электромагнитов k, причем си лы лежат в плоскости столика 3 и направлены они противоположно в силу разных направлений магнитных полей катушек 5, что обеспечивается их встречным включением с помощью коммутационного устройства. Таким образом, на столик 3 действует пара кру4тящих моментов, что обеспечивает его поворот относительно своего геометрического центра. В зависимости or направления тока через столик 3 возможен его поворот в обе стороны, причем угол поворота зависит от длительности импульса напряжения, подаваемого на столик 3. Устройство обеспечивает поворот столика до 60 . формула изобретения Координатный привод по авт.св. № 860368, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, он снабжен дополнительным электромагнитом, установленным симметрично основному электромагниту относительно геометрического центра столика. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № , кл. Н 05 К 13/04, 26.05.79.