Координатный привод Советский патент 1981 года по МПК H05K13/02 H01L21/68 

(54) КООРДИНАТНЫЙ ПРИВОД

1

Изобретение относится к приборостроению и может быть применено в устройствах координатного позиционирования, например при изготовлении микросхем.

Известно устройство для ориентации подложек при изготовлении микросхем, содержащее координатный стол, выполненный в виде плиты, взаимодействующей с пьезоэлектрическими элементами, в которой выполнены продольные и поперечные пазы, образующие рабочую плиту для размещения подложки, внутреннюю и наружную рамки и упругие элементы, соединяющие их между собой, причем пьезоэлектрические элементы размещены между внутренней и наружной рамками, а также между рабочей плитой и внутренней рамкой 1.

Недостатки известного устройства заключаются в малом диапазоне возможных перемещений и сложности конструкции .

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является координатный привод, содержащий столик и основание с установленными по его периметру чонтактны «1 пластинами, фрикционно сопряженными со столиком, и средство перемещения столика, соединенное с источнике напряжения 2 .

Однако данное устройство также не

5 обеспечивает необходимой мощности привода и быстродействия.

Цель изобретения - повышение эксплуатационных возможностей.

Поставленная цель достигается тем,

О что в координатном приводе, содержащем столик и основание с установленньв4и по его периметру контактными пластинами, фрикционно сопряженными со столиком, и средство перемещения

15 столика, контактные пластины соединены с источником напряжения и изолированы одна от другой, а средство . перемещения столика выполнено в виде электромагнита, установленного

20 таким образом, что линии магнитного поля перпендикулярны плоскости столика.

На фиг. 1 изображена схема устройства; на фиг. 2 - то же, вид

25 сверху.

Устройство содержит основание 1, в которсж установлены четыре контак ные пластины 2 подключенные к источнику постоянного напряжения (не

30 показано), расположенные по периметр: ру столика в виде прямоугольника, изолированные между собой и фрикционно сопряженные со столиком 3, а также постоянный электромагнит 4 с катушкой 5, установленной так, что силовые линии магнитного поля перпендикулярны плоскости столика. Устройство работает следующим об разсм К источнику постоянного, напряжения подключаются две параллельные контактные пластины 2, а также катушка 5 постоянного магнита . 4. Через столик 3 про текает ток, при взаимодействии которого с магнитным полем, создаваемым электромагните 4, возн кает сила, перпендикулярная направл $1ию протекания тока и силовым линиям магнитного поля. Таким образом, создаваемая сила лежит в плоскости столика 3 и параллельна контактным планкам 2, подключенным к источнику постоянного напряжения. Она перемещает столик 3. Изменение напряжения силы, а тем самым и перемещение сто лика 3, осуществляется изменением направления протекания тока в столи ке 3 или в катушке 5 электромагнита

3 Устройство позволяет увеличить диапазон перемещений до 60 - 80 мм и упростить конструкцию. Формула изобретения Координатный привод, содержащий столик и основание с установленными по его периметру контактными пластинами, фрикционно сопряженными со столиком, и средство перемещения столика, соединенное с источником напряжения, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационных возможностей, контактные пластины соединены с источником напряжения и изолированы одна от другой, а средство перемещения столика выполнено в виде электромагнита, установленного таким образом, что линии магнитного поля перпендикулярны плоскости столика. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 541305, кл. Н 05 К 3/00, 1976. 2.. Авторское свидетельство СССР по заявке №2694967/21,кл.Н 01 L 21/70, 18.12.78.