Распылитель жидкости Советский патент 1982 года по МПК B05B7/24 

1

Изобретение относится к устройствам для распыления жидкости и может быть использовано, в частности, в полупроводниковом производстве для распыления проявителя на технологических операциях проявления фоторезиста.5

Известен распылитель жидкости, выполненный из двух цилиндров: внутреннего неподвижного, в который подается вода под давлением, и наружного вращающегося с отверстиями на их цилиндрических поверх- ,Q ностях 1.

Недостатком этого устройства является то, что оно не обеспечивает равномерного по плотности факела распыла жидкости, так как при совмещении отверстий обоих цилиндров образуется не факел распыла, а мелкие 15 струи жидкости, направленные в разные стороны от внещнего цилиндра.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является распылитель жидкости, jo содержащий два коаксиально установленных полых цилиндра, внутренний из которых соединен с магистралью сжатого воздуха И выполнен с выходной щелью, а наружный - установлен с возможностью вращения и выполнен с рабочими каналами на его поверхности, и патрубок подачи жидкости к рабочим каналам. Наружный цилиндр выполнен из пористого материала 2.

Недостатком этого устройства является недостаточная однородность факела пс плотности, так как в пористом цилиндре газ проходит в разных направлениях и с различной интенсивностью, что может привести к появлению потеков, образованию и отрыву капель жидкости с надвигающейся поверхности цилиндра.

Цель изобретения - повышение однородности факела распыла по плотности.

Для достижения этой цели в распылителе жидкости, содержащем два коаксиально установленных полых цилиндра, внутренний из которых соединен с магистралью сжатого воздуха и выполнен с выходной продольной щелью, а наружный установлен с возможностью вращения и выполнен с рабочими каналами, и патрубок подачи жидкости к рабочим каналам рабочие каналы наружного цилиндра выполнены в виде сквозных винтообразных прорезей в его боковой стенке, а в выходной продольной щели внутреннего цилиндра установлен вкладыщ из микропористого материала, причем вокруг наружного цилиндра смонтирован корпус с продольной щелью для выхода распыленной жидкости.

На фиг. 1 схематично представлено устройство, разрез; на фиг. 2 - то же, вид сбоку; на фиг. 3 - часть развернутой поверхности наружного цилиндра.

Распылитель жидкости содержит два коаксиально установленных полых цилиндра, внутренний 1 из которых соединен посредством трубопровода 2 с магистралью сжатого воздуха (не показана) и выполнен с выходной продольной щелью 3, а наружный 4 установлен с возможностью вращения и выполнен с рабочими каналами.

Рабочие каналы наружного цилиндра 4 выполнены в виде сквозных винтообразных прорезей 5 в его боковой стенке.

В выходной продольной щели 3 внутреннего цилиндра 1 установлен вкладыщ 6 из микропористого материала:

Вокруг наружного цилиндра 4 смонтирован корпус 7 с продольной щелью 8 для выхода распыленной жидкости. В корпусе 7 выполнен канал 9, сообщенный трубопроводом 10 с емкостью для жидкости (не показана).

Распылитель жидкости работает следующим образом.

Во внутреннюю полость цилиндра 1 подается через трубопровод 2 сжатый газ. Наружный цилиндр начинает вращаться, при этом сквозные винтообразные каналы 5 поочередно сообщаются с каналом 9 корпуса 7, забирают порции жидкости, перемещают их между поверхностями внутреннего цилиндра 1 и внутренней поверхностью корпуса 7. При сообщении канала 5 цилиндра 4 с каналом 3 цилиндра 1 и продольной щелью 8 корпуса 7, происходит распыление жидкости. При достаточно быстром вращении цилиндра 4

дозы жидкости, подаваемые за счет сжатого газа, образуют сплощной ножевой факел распыла с равномерной плотностью по всей длине.

Существующие распылители жидкости, при нанесении покрытия на квадратные подложки, например фотощаблоны размеров 102x102 мм, обеспечивают получение разности по толщине покрытия по всей площади 15-20% тогда как описанный распылитель за счет увеличения равномерности плотности факела распыла сократил неравномерность покрытия до .

Формула изобретения

Распылитель жидкости, содержащий два коаксиально установленных полых цилиндра, внутренний из которых соединен с магистралью сжатого воздуха и выполнен с выходной продольной щелью, а наружный установлен с возможностью вращения и выполнен с рабочими каналами, и патрубок подачи жидкости к рабочим каналам, отличающийся тем, что, с целью повыщения однородности факела распыла по плотности, рабочие каналы наружного цилиндра выполнены в виде сквозных винтообразных прорезей в его боковой стенке, а в выходной продольной щели внутреннего цилиндра установлен вкладыщ из микропористого материала, причем вокруг наружного цилиндра смонтирован корпус с продольной щелью для выхода распыленной жидкости.

Источники информации принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 109750, кл. В 05 В 3/12, 1957.

2.Авторское свидетельство СССР

№ 735314, кл. В 05 В 7/24, 1977 (прототип).