Устройство для гидромеханической очистки плоских изделий Советский патент 1982 года по МПК B08B1/04 

Изобретение относится к конструкциям очищающих устройств и предназначено для гидромеханической очист- . ки плоских изделий,, преимущественно хрупких, например подложек микросхем. Оно может Найти применение в электротехнической, электронной, радиотехнической и химической промьошленности при необходимости очистки тонких и хрупких изделий,

Известно устройство для очистки сетчатого инвентаря, содержащее независимые -плоские щетки, установленные вертикально, попарно, волосом друг навстречу другу и смонтированные с возможностью вращения вокруг своей оси С1.

В этом устройстве не может быть обеспечена высококачественная очистка изделий микроэлектроники, так как она ведется неравномерно из-за различия скоростей перемещения всех точек поверхности щеток.

Низкое качество очистки в изЬестном устройстве объясняется так.же разновысокостью волоса щетки, вызванной неравномерным истиранием его при неравномерной очистке. Это не позволяет обеспечить одинаковый контакт волоса щётки с очищаемой поверхностью и проникать ему в микронеровности подложки. В результате режимы работы всех точек поверхности будут неодинаковы; выполнением отверстий для подачи моющего раствора в ворсе щеток, что приводит при вращении последних, ,с одной стороны, к перемешиванию моквдего раствора на очищаемой поверхности, а

10 с другой стороны - °к неравномерности его подачи. В первом случае загрязнения будут размываться по поверхности , а во втором - режимы очистки в разных точках поверхности будут

15 неодинаковы; наличием нескольких вводов в зону очистки, вносящих дополнительные загрязнения в эту зону.

Целью изобретения является повышение качества очистки.

20

Цель достигается тем, что в устройстве для гидромеханической очистки плоских изделий, преимущественно хрупких, содержащем установленный в корпусе приводной узел очистки со

25 смонтированными в нем обращенными одна к другой вертикальными рабьчими поверхностями торцовыми щетками, связанное с ними средство для подачи моющего раствора и размещенные

30 между щетками направляюидае дЛя очищаемого изделия, узел очистки выполнен в виде касеты с параллельными направляющими для размещения щеток, смонтированной с возмолсностыо. кругового плоскопарйллельного движения , причем направляющие для очищаемых изделий установлены неподвижно относительно кассеты, а средство для подачи моющего раствора размещено над волосом щеток.. Кроме того, для одновременной обработки нескольких изделий оно имеет дополнительные направляющие для очищаемого изделия, установленные неподвижно относительно кассеты. На чертеже изображено предлагаемое устройство. Устройство содержит установленный в корпусе 1 приводной узел очистки, в котором смонтированы торцовые щетки 2, обращенные одна к другой вертикальными рабочими поверхностями, направляющие 3 для очищаемого изделия 4, размещенные между щетками 2, и средство для подачи моющего раствора, связанное со щетками 2. Направляющие 3 закреплены на плите 5 под узлом очистки, а очищаемое изделие 4 в держателе 6. Каждая щетка 2 выполнена,например, из оргстекла с отверстиями, в которых закреплены проволокой пучки 7 из волоса колонка, и вставлена в корпус 8 Щетки 2 установлены по обе стороны держателя 6 таким образом, что деформация их волоса составляет не менее 2 мм. Узел очистки имеет приводную Кассету 9 со смонтированными параллельно одна относительно другой направляющими 10 для щеток 2 и допол нительные направляющие 11 для нескольких очищаемых изделий 4. Напрайляющие 3 и 11 установлены неподвижно относительно кассеты 9. Средство для подачи моющего раствора раз мещено над волосом щеток и представляет собой отверстия 12, выполненные в верхней части корпусов 8 и соединенные через полости 13 со штуцерами 14 Подачи моющего раствора. Кассета 9 задней стенки крепится к приводу кругового плоско-параллельного движения. Последний может быть выполнен, например, в виде кривошипношатунного механизма и состоит из рычага 15, который через подщипники 16 качения установлен на-выходных парал лельных коленчатых валах 17 редуктор Для предотвращения заклинивания кассеты 9 во время работы одна опора рычага 15 выполнена плавающей - в рычаге 15 имеется паз под подшипник качения 16, сидящий на выходном валу редуктора. Выходные валы 17 редуктора Введены в корпус 1 через отверсти имеющиеся на задней стенке. Для ,предотвращения затекания моющего раство ра на валу редуктора между рычагом 15 и кассетой 9 служит заии1тный экран 18. Под направляющими 3 и 11 с держателями 6 в плите 5 выполнен вырез для слива отработанного раствора в воронку 19. Корпус 1 закрыт сверху крышкой 20. Устройство работает следующим образом. Очищаемые изделия 4 устанавливаются на держатели 6, которые вставляются в направляющие 3 и дополнительные направляющие 11. При загрузке держателей 6 крышка 20 корпуса 1 .открыта. Одновременно могут загружаться два держателя b. После окончания загрузки держателей 6 крышка 20 корпуса 1 закрывается, включается электродвигатель привода кассеты 9 (на чертеже не показан) и подается моющий раствор. Последний поступает по штуцерам 14 в полости 13 корпусов 8 щеток 2 и через отверстия 12 истекает вниз, омывая изделие 4 с обеих сторон. При включении электродвигателя привода кассеты 9 оба коленчатых вала 17 редуктора, вращаясь синхронно, перемещают кассету 9 со щетками 2 в плоскости, перпендикулярной оси вращения. При этом кассета 9 совершает круговое плоско-параллельное движение. Отработанный моющий раствор удаляется из корпуса 1 через воронку 19. По окончании очистки выключается электродвигатель привода кассеты 9 и прекращается подача моющего раствора. После этого открывается крышка 20 корпуса 1 и держатели 6 с очищенными изделиями 4 выгружаются. В процессе эксплуатации устройства по мере износа волоса щеток 2 последние переставляются из одних направляющих 10- в другие с целью приближения к изделиям 4. Конструкция устройства позволяет производить тонкую высококачественную очистку изделий, преимущественно хрупких, что снижает затраты на последующих операциях очиотки, а также позволяет максимально использовать волос щеток, уменьшая затраты на проведение процесса. Формула изобретения 1. Устройство для гидромеханической очистки плоских изделий, преимущественно хрупких, содержащее установленный в корпусе приводной узел очистки со смонтированными в нем обращенными одна к другой вертикальными рабочими поверхностями торцовыми щетками, связанное с ними средство для подачи моющего раствора и размещенные между щетками направляющие для очищаемого изделия, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью

повышения качества очистки, узел очистки выполнен в виде кассеты с параллельными направляющими для размещения щеток, смонтированной с возможностью кругового плоско-параллельного движения, причем направляющие для очищаемых изделий установлены неподвижно относительно кассеты, а средство для подачи моющего раствора размещено над волосом щеток.

2. Устройство по П.1, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности, оно имеет дополнительные направлякядие для очищаемых изделий, установленны неподвижно относительно кассеты.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР 464342, кл. В 08 В 1/04, 1972.