Датчик давления Советский патент 1982 года по МПК G01L9/04 

1

Изобретение относится к измеритель ной технике, а точнее к измерению цавлений жицких и газообразных срео.

По основному авт. св. № 679835 известен датчик давления, соцержащий консольно закрепленную в корпусе датчика мембранную коробку в виде балки, образованную соединенными между собой мо нокристаллическими кремниевыми пластинами, и тензорезисторы, расположенные на, наружной поверхности коробки 1.

Недостатком этого датчика давления является температурная погрешность, вызванная различием коэффициентов линейного расширения материалов кристалла, на 15 которых сформирована электронная схема, и изолирукяцей поцлржки, на которой смонтирован этот кристалл.

Цель изобретения - повышение точности за счет уменьшения температурной пог20 решности датчика.

Указанная цель достигается тем, что в датчике давления электронная схема тензорезисторов расположена на наружной поверхности балки на расстоя1ши от места закрепления 2-3 в, где в- толщина балки.

На чертеже привеоен один из вариантов датчика давления.

Датчик давления состоит из корпуса, включающего в себя подлож.ку 1 и сое пи- ненный с ней кожух 2, мембранной коробки в виде балки, образованной монокрис- таллическими пластинами 3 и 4,

.На наружной поверхности мембраны сформированы тензорезисторы 5 и электронная схема 6, соединенная электровыводами 7, Мембранная коробка через промежуточную пластину 8соединена с nothложкой 1. Через патрубок 9 в пространство, образованное подложкой 1 и кожухом 2, подается измеряемое давление Р.

Датчик работает слес(ующим образом.

Через патрубок 9 подают измерйемое давление. Оно деформирует мембрану, вызывая тем самым изменение сопротивления тензореа1сторов 5, которое схемой 6 преобразуется в удобный для йспользшания выходной сигнал.

Изменение температуры окружающей среды не -привооит к Ёоэникноёению дополн нительных оеформаций коробки из-за раовости Коэффициентов линейного расширения материалоь .коробки и пластины 8, если элементы электронной схемы расположены на расстоянии от места закрепления 2-3 & В областях нулевых деформаций, где в толщина балки.

Таким образом, при испс)льзовании изобретения изменение температуры окру жакхцей среды не влияет на резу/штат измерений, что приводив к увеличению . точности измерений.

Формула изобретения Датчик давления по авт. св.М 679835, отлич ающи йся тем, что, с целью повышения точности измерений за Счет уменьшения темпера 1урной погрешности, ц нем электрошая схема тензорезисторов расположена на наружной nt верхности баАки на расстоянии от места зактепления 2-3 в, где в - толщина балки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР Ni 679835, кл. q 01 U 9/О4, 18.06,76 (прототип).