Интерферометр Фабри-Перо Советский патент 1982 года по МПК G01J3/26 

Описание патента на изобретение SU972252A1

(54) ИНТЕРФЕРОЛ ЕТРз ФАБРИ-ПЕРО

Похожие патенты SU972252A1

название год авторы номер документа
Сканирующий интерферометр Фабри-Перо 1981
  • Архипов Виктор Михайлович
SU987408A1
ПЕРЕСТРАИВАЕМЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ФАБРИ-ПЕРО 1995
  • Богатова Г.А.
  • Калинин Ю.А.
  • Марков И.А.
  • Перебейнос В.В.
  • Чебуркин Н.В.
RU2091732C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ С НАНОМЕТРОВОЙ ТОЧНОСТЬЮ В БОЛЬШОМ ДИАПАЗОНЕ ВОЗМОЖНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ 2012
  • Кожеватов Илья Емельянович
  • Куликова Елена Хусаиновна
  • Руденчик Евгений Антонович
  • Черагин Николай Петрович
  • Кирсанов Алексей Владимирович
RU2502952C1
УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТА НАНО- И СУБНАНОМЕТРОВОЙ ТОЧНОСТИ 2012
  • Кожеватов Илья Емельянович
  • Куликова Елена Хусаиновна
  • Руденчик Евгений Антонович
  • Черагин Николай Петрович
RU2502951C1
СПОСОБ ЮСТИРОВКИ ИНТЕРФЕРОМЕТРА ФАБРИ - ПЕРО И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 1991
  • Новоселов А.Н.
RU2018792C1
Интерференционное устройство для измерения размеров деталей 1982
  • Шаров Евгений Михайлович
SU1052856A1
Устройство для контроля направляющих 1982
  • Архипов Виктор Михайлович
SU1073565A1
СКАНИРУЮЩИЙ МОНОБЛОЧНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ФАБРИ-ПЕРО 2019
  • Шелковников Александр Сергеевич
  • Тарабрин Михаил Константинович
  • Лазарев Владимир Алексеевич
  • Томилов Сергей Михайлович
  • Киреев Алексей Николаевич
RU2726717C2
УСТРОЙСТВО СПЕКТРАЛЬНОЙ СЕЛЕКЦИИ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ 2012
  • Анциферов Сергей Александрович
  • Севрюгин Игорь Валерьевич
  • Калиновский Владимир Валентинович
  • Гостев Игорь Владимирович
RU2525713C2
УСТРОЙСТВО ЭКСПОНИРОВАНИЯ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР И СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР 2010
  • Чесноков Владимир Владимирович
  • Чесноков Дмитрий Владимирович
RU2438153C1

Иллюстрации к изобретению SU 972 252 A1

Реферат патента 1982 года Интерферометр Фабри-Перо

Формула изобретения SU 972 252 A1

1

Изобретение относится к спектральному приборостроению и может быть использовано в интерференционной спектроскопии.

Известны сканирующие интерферометры и эталоны Фабри-Перо, в которых оптические пластины непосредственно крепятся в специальных оправах. В них параллельность достигается путем прижимания пластин к разделителю 1.

Данный способ монтировки обладает многими нежелательными особенностями. Неодинаковое давление пружин деформирует сами пластины и уменьшает эффективное число интерферирующих лучей.

Наиболее близким к предлагаемому является интерферометр Фабри-Перо, содержащий круглые клиновидные пластины с покрытиями. В этом интерферометре взаимное положение пластин поддерживается с помощью трех кварцевых разделителей, изготовленных так, что их толщины равны с точностью до А/100. Затем они помещаются между двумя интерференционными пластинами так, что при тесном соприкосновении молекулярные силы удерживают их друг с другом 2.

Недостатком известного интерферометра является ограниченная точность настройки и сканирования. Кроме того, в этом случае нельзя обеспечить конструкцию с изменением разности хода от нуля, и возникающие силы сцепления неодинаково деформируют пластины.

Цель изобретения - повышение точности настройки и сканирования.

Поставленная цель достигается тем, что 10 в интерферометре Фабри-Перо, содержащем круглые клиновидные пластины с покрытиями, каждая из клиновидных пластин интерферометра укреплена на оптическом контакте на клиновидной пластине с вершиной клина, ориентированной в противопо15ложную сторону и выполненной из материала с тем же коэффициентом линейного расщирения, имеющей отверстие в центре, равное световому диаметру, и наружную поверхность, параллельную рабочей поверхности пластины интерферометра.

На чертеже представлена схема интерферометра Фабри-Перо.

Схема содержит круглые клиновидные пластины 1, 2 с покрытиями пластины 3, 4,

SU 972 252 A1

Авторы

Архипов Виктор Михайлович

Даты

1982-11-07Публикация

1981-05-13Подача