(54) ИНТЕРФЕРОЛ ЕТРз ФАБРИ-ПЕРО
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Сканирующий интерферометр Фабри-Перо | 1981 |
|
SU987408A1 |
ПЕРЕСТРАИВАЕМЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ФАБРИ-ПЕРО | 1995 |
|
RU2091732C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ С НАНОМЕТРОВОЙ ТОЧНОСТЬЮ В БОЛЬШОМ ДИАПАЗОНЕ ВОЗМОЖНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ | 2012 |
|
RU2502952C1 |
УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТА НАНО- И СУБНАНОМЕТРОВОЙ ТОЧНОСТИ | 2012 |
|
RU2502951C1 |
СПОСОБ ЮСТИРОВКИ ИНТЕРФЕРОМЕТРА ФАБРИ - ПЕРО И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1991 |
|
RU2018792C1 |
Интерференционное устройство для измерения размеров деталей | 1982 |
|
SU1052856A1 |
Устройство для контроля направляющих | 1982 |
|
SU1073565A1 |
СКАНИРУЮЩИЙ МОНОБЛОЧНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ФАБРИ-ПЕРО | 2019 |
|
RU2726717C2 |
УСТРОЙСТВО СПЕКТРАЛЬНОЙ СЕЛЕКЦИИ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ | 2012 |
|
RU2525713C2 |
УСТРОЙСТВО ЭКСПОНИРОВАНИЯ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР И СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР | 2010 |
|
RU2438153C1 |
1
Изобретение относится к спектральному приборостроению и может быть использовано в интерференционной спектроскопии.
Известны сканирующие интерферометры и эталоны Фабри-Перо, в которых оптические пластины непосредственно крепятся в специальных оправах. В них параллельность достигается путем прижимания пластин к разделителю 1.
Данный способ монтировки обладает многими нежелательными особенностями. Неодинаковое давление пружин деформирует сами пластины и уменьшает эффективное число интерферирующих лучей.
Наиболее близким к предлагаемому является интерферометр Фабри-Перо, содержащий круглые клиновидные пластины с покрытиями. В этом интерферометре взаимное положение пластин поддерживается с помощью трех кварцевых разделителей, изготовленных так, что их толщины равны с точностью до А/100. Затем они помещаются между двумя интерференционными пластинами так, что при тесном соприкосновении молекулярные силы удерживают их друг с другом 2.
Недостатком известного интерферометра является ограниченная точность настройки и сканирования. Кроме того, в этом случае нельзя обеспечить конструкцию с изменением разности хода от нуля, и возникающие силы сцепления неодинаково деформируют пластины.
Цель изобретения - повышение точности настройки и сканирования.
Поставленная цель достигается тем, что 10 в интерферометре Фабри-Перо, содержащем круглые клиновидные пластины с покрытиями, каждая из клиновидных пластин интерферометра укреплена на оптическом контакте на клиновидной пластине с вершиной клина, ориентированной в противопо15ложную сторону и выполненной из материала с тем же коэффициентом линейного расщирения, имеющей отверстие в центре, равное световому диаметру, и наружную поверхность, параллельную рабочей поверхности пластины интерферометра.
На чертеже представлена схема интерферометра Фабри-Перо.
Схема содержит круглые клиновидные пластины 1, 2 с покрытиями пластины 3, 4,
Авторы
Даты
1982-11-07—Публикация
1981-05-13—Подача